图一
图二
图三压力计主要用于监控轮胎气压，向中央控制器发射RF信号报告情况。由于每个轮胎都需要独立安装这样的RF MEMS，所以它的需求量很大。目前Infineon销售量最大。压力计还用于监控引擎压力等。
加速度计有两类：测量高加速度（100重力加速度量级）和测量低加速度（两个重力加速度）。前者用于在撞车事故发生时触发安全气囊，是一种被动性保护措施，因此这类系统也叫被动控制系统。低加速度计用于监控汽车在行驶过程中的稳定性。
陀螺仪（gyroscope）用于测量汽车的旋转速度（转弯或者打滚），它与低加速度计一起构成主动控制系统。所谓主动控制系统就是一旦发现汽车的状态异常，系统在车祸尚未发生时及时纠正这个异常状态或者正确应对个异常状态以阻止车祸的发生。比如在转弯时，系统通过陀螺仪测量角速度就知道方向盘打得过多还是不够，主动在内侧或者外侧车轮上加上适当的刹车以防止汽车脱离车道。现在这种系统主要安装于高端汽车上。
图四
目前在汽车MEMS市场，压力计和加速度计还是占较大份额，（图四）但是随着对汽车安全性能要求越来越高，尤其是在北美和欧洲稳定性主控系统的安装率节节攀升，陀螺仪的市场增长率明显比前两类要快，在2011年预期达到10%。（图五、六）（曹志良）
图五
图六
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