图一、InvenSense六轴MEMS运动处理方案：Z轴陀螺仪（ISZ）、双轴陀螺仪（IDG）和三轴加速度计（IME-3000）。
InvenSense公司在2009年5月27日发布了针对游戏和三维遥控器市场的第一个六轴运动处理方案。InvenSense是消费电子市场MEMS传感器的主要供应商。
这个六轴控制方案包含了公司的第一个Z轴MEMS陀螺仪（ISZ）和新近发布的三轴MEMS加速度计（IME-3000），并结合它的双轴侧滚翻陀螺仪（IDG）。它是世界上第一个基于MEMS的六轴运动处理方案，为消费电子市场提供了最小、最可靠的惯性测量元件。它由两个4x5x1.2毫米封装好的陀螺仪和一个...
IDG-600是双轴（X和Y）MEMS陀螺仪，它用于测量绕X轴和Y轴（器件平面内的两个方向）转动的角速度。制造它的技术是纳西尔加工方法——晶圆片级的封装技术。Invensense公司本身没有芯片加工厂，它设计芯片、研发工艺，然后寻找代工。
IDG-600陀螺仪由三块晶圆片形成——490微米厚的顶盖晶圆片、35微米厚的MEMS晶圆片、以及470微米厚的...
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