BiCMOS技术是将单、双极两种工艺合适地融合在一起的技术,但这绝不是简单、机械地掺和在一起,很多工艺可以一块儿或设法结合在一起做。目前
BiCMOS工艺主要有两种:一是以CMOS为基础的BiCMOS工艺,这种工艺对保证CMOS器件的性能较为有利;二是以双极工艺为基础的BiCMOS
工艺,这种工艺比较张扬BJT器件的性能。图1是以CMOS为基础的0.8μm BiCMOS器件的纵向剖面图。

BiCMOS-C型是只使用少数双极性晶体管来驱动长线一输出缓存器,而BiCMOS-E型则主要是以ECL技术为主,用CMOS晶体管做为大
型存储部件。这两种类型的BiCMOS由于需要将双...
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