KEITHLEY 老马的博客

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• 开发高k栅极薄膜　2010-01-26 15:45
  脉冲技术的使用对于高k栅极材料的验证和演进MOSFET器件的生产工艺特别重要。许多新技术的漏电流还是比成熟技术的高，但是材料中存在大量表面态和陷阱。为了完整的分析表面态和陷阱，通常需要多种测量技术。通常，这些测量技术包括直流
  

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• 半导体电阻率的多种测量方法应用与注意事项(2)　2010-01-12 11:05
  范德堡（van der Pauw）技术 测量电阻率的范德堡（vanderPauw）技术也采用恒流的方法。这种方法在测量非常小的样品时特别有用，因为这时样品的尺寸和接触点的距离并不重要。这种技术采用在扁平的、任意形状的样品上放置四个隔离的接触点。围绕样品进行八次测量。如图下图所示。
  

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