第1节 概述

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更新于2008-05-15 09:47:27

异质结 FET HJFET HFET

异质结FET——普通HJFET，HFET

• 耗尽型和增强型FET 逻辑
  互补FET 逻辑 （还未出现，或将要很快出现）
  为什么至今只用GaAs
• MESFET 加工的回顾
  器件的关键部分；工艺难题
  加工顺序的系统回顾
  使用异质结构的机会
• 在FET 中使用异质结构的一般原则
  一般目标
  特殊应用
  改进基底的隔离
  改进栅极特性
  改进沟道电导
• HFET——掺杂沟道HJFET
  基本结构
  使用假晶层（pseudomorphic layers）改进器件
  应变沟道
  应变栅极

 

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