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更新于2008-05-14 22:36:59

金属化,互连
阅读: Plummer Ch 11; Campbell Ch 15
 
为什么需要互连化? –器件电连接以及从外部接入电路.
 
局部互连:
 
        栅接触:掺杂多晶硅,硅化物
 
Inter-level 
 
        ? plugs, vias, e.g. W
 
封装
 
       大范围的互连: Cu  或者Al (每个集成块有几mm)  
互连的材料选择,  多层互连更加复杂 

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