课程大纲
授课教师
Martin Schmidt教授
Robert O’Handley博士
实验室教师
Li-Wen C Wang
写作教师
Susan Ruff
课程综述
本门课程介绍了微/纳米制作的原理和工艺.由于各学科之间的关联性,内容包括工程学和滋润科学中许多学科(电学,材料的,力学和化学) 的基本概念.在课堂上,我们将会讨论基本工艺的原理,比如扩散,氧化,光刻,化学气相沉积,物理气相沉积,刻蚀和金属化。
在实验部分,我们将会制作三种不同的器件: MOS电容器, 微悬臂以及微射流器件.你们将在实验过程中测试每个器件,并且对应个器件写一份实验报告。
本门课程的末期,你们应该对用于微/纳制作的每种不同的工艺有较好的了解.同时,你们应该明白单种工艺的原理,工艺过程,工艺的特点,用于器件制作时各种先决条件。
先决条件
教师的允许
上课
每个星期安排两节1.5小时的课程.实验部分从学期的第二周开始,到期末结束.其中有9周 学生将需要做4小时的实验。
家庭作业
整个学期大约有6个家庭作业. 我们很鼓励学生团队合作,每个小组上交一份求解. 希望你们尽可能的由4人组成一个家庭作业小组.所有的小组成员必须在全解上签名,在上交答案的开始必须确定最后起草的同学.你们的签名才说明你们参与了求解过程。
考试
有两次1-1/2小时的测验,安排在第13节课和第23节课后的某一天,并且,每个人必须参加家庭作业的测验,安排在第18节课的那一周。
实验报告
在每次实验结束后的一周交实验报告 (3) .由于写实验报告是 CI-M 学分的一部分,将会对第二次实验报告进行评分.这个实验报告会再上交,用于期末的技术写作评分.我们将会发一些资料,更加详细的介绍每次实验报告的要求。
评分
实验报告成绩和上课的内容相当.具体见下列表格:
具体项目 百分比
家庭作业 10%
测试#1 15%
测试#2 15%
家庭作业 测试 15%
IC实验报告-技术上的 10%
MEMS 实验报告 10%
MEMS实验报告-写作 5%
流体实验报告 10%
实验成绩 10%
学院的规定
在这门课程中,家庭作业,测验以及最后的实验报告都需要, 这样一来可以帮助你们了解这个材料. 二来可以帮助工作人员了解你们的掌握程度,特别是要给你们评定期末成绩时, 这些很重要 最后,扩展到你们和你们同学在准备材料的合作必须被同学和老师知道,并且同意.下列是我们关于协作允许水平的方针.这是有意地提供引导,但是请明白对于违反规定的学生,工作人员将会给你们最严重的处分。
布置家庭作业是给你们提供额外的学习手段.同样的在求解过程中,学生相互协作,尽力一起求解的话,我们将会很满意。
课堂测验和家庭作业测验对工作人员了解你们的成绩也很重要.这些考试应该单独完成,不允许相互讨论.课外考试必须是你自己的工作,你只能与本课程的老师讨论。
实验报告是为了让你们将课堂上的一些资料集中在一起.你们将要小组一起工作来制作器件和收集数据.然而,在实验报告上,一定要有专门的数据分析,结果和结论.不允许有以前的手写实验报告.准备这些报告时,老师将可以给你们提供帮助。
实验小组
由6个或更少的学生组成实验小组,一起完成整个学期的9个实验.可能有用的时间列在下面. 每个小组每周需要花4小时的时间在一起实验。
实验规则
出席
给出你们实验的时间.如果你们生病或者由于其它原因不能上实验课,在上课之前与助教联系。
签到 - MTL 标识卡
每次实验,你们必须从TA领一张 MTL 标识卡.进实验室时, 需要ID卡.当你完成实验了,请归还 ID卡。
外套 /背包 /存储
将你的外套和个人用品储存在带锁的存物柜. 走时不要遗忘任何有用的东西在存物柜中!
带什么东西?
ICL/TRL, 分别为CLASS 10清洗间和 CLASS 100清洗间. 你们不能带任何东西到这些清洗间 (包括钢笔,纸,笔记本等等). 特别的清洗间给你们准备了钢笔和纸。
穿什么?
穿短裤、裙子或赤脚(露腿或腿的任何部分)是不允许的。如果你穿了下雪穿的靴子,带额外的一双鞋子来换。你必须保护你自己和实验室。
Martin Schmidt教授
Robert O’Handley博士
实验室教师
Li-Wen C Wang
写作教师
Susan Ruff
课程综述
本门课程介绍了微/纳米制作的原理和工艺.由于各学科之间的关联性,内容包括工程学和滋润科学中许多学科(电学,材料的,力学和化学) 的基本概念.在课堂上,我们将会讨论基本工艺的原理,比如扩散,氧化,光刻,化学气相沉积,物理气相沉积,刻蚀和金属化。
在实验部分,我们将会制作三种不同的器件: MOS电容器, 微悬臂以及微射流器件.你们将在实验过程中测试每个器件,并且对应个器件写一份实验报告。
本门课程的末期,你们应该对用于微/纳制作的每种不同的工艺有较好的了解.同时,你们应该明白单种工艺的原理,工艺过程,工艺的特点,用于器件制作时各种先决条件。
先决条件
教师的允许
上课
每个星期安排两节1.5小时的课程.实验部分从学期的第二周开始,到期末结束.其中有9周 学生将需要做4小时的实验。
家庭作业
整个学期大约有6个家庭作业. 我们很鼓励学生团队合作,每个小组上交一份求解. 希望你们尽可能的由4人组成一个家庭作业小组.所有的小组成员必须在全解上签名,在上交答案的开始必须确定最后起草的同学.你们的签名才说明你们参与了求解过程。
考试
有两次1-1/2小时的测验,安排在第13节课和第23节课后的某一天,并且,每个人必须参加家庭作业的测验,安排在第18节课的那一周。
实验报告
在每次实验结束后的一周交实验报告 (3) .由于写实验报告是 CI-M 学分的一部分,将会对第二次实验报告进行评分.这个实验报告会再上交,用于期末的技术写作评分.我们将会发一些资料,更加详细的介绍每次实验报告的要求。
评分
实验报告成绩和上课的内容相当.具体见下列表格:
具体项目 百分比
家庭作业 10%
测试#1 15%
测试#2 15%
家庭作业 测试 15%
IC实验报告-技术上的 10%
MEMS 实验报告 10%
MEMS实验报告-写作 5%
流体实验报告 10%
实验成绩 10%
学院的规定
在这门课程中,家庭作业,测验以及最后的实验报告都需要, 这样一来可以帮助你们了解这个材料. 二来可以帮助工作人员了解你们的掌握程度,特别是要给你们评定期末成绩时, 这些很重要 最后,扩展到你们和你们同学在准备材料的合作必须被同学和老师知道,并且同意.下列是我们关于协作允许水平的方针.这是有意地提供引导,但是请明白对于违反规定的学生,工作人员将会给你们最严重的处分。
布置家庭作业是给你们提供额外的学习手段.同样的在求解过程中,学生相互协作,尽力一起求解的话,我们将会很满意。
课堂测验和家庭作业测验对工作人员了解你们的成绩也很重要.这些考试应该单独完成,不允许相互讨论.课外考试必须是你自己的工作,你只能与本课程的老师讨论。
实验报告是为了让你们将课堂上的一些资料集中在一起.你们将要小组一起工作来制作器件和收集数据.然而,在实验报告上,一定要有专门的数据分析,结果和结论.不允许有以前的手写实验报告.准备这些报告时,老师将可以给你们提供帮助。
实验小组
由6个或更少的学生组成实验小组,一起完成整个学期的9个实验.可能有用的时间列在下面. 每个小组每周需要花4小时的时间在一起实验。
实验规则
出席
给出你们实验的时间.如果你们生病或者由于其它原因不能上实验课,在上课之前与助教联系。
签到 - MTL 标识卡
每次实验,你们必须从TA领一张 MTL 标识卡.进实验室时, 需要ID卡.当你完成实验了,请归还 ID卡。
外套 /背包 /存储
将你的外套和个人用品储存在带锁的存物柜. 走时不要遗忘任何有用的东西在存物柜中!
带什么东西?
ICL/TRL, 分别为CLASS 10清洗间和 CLASS 100清洗间. 你们不能带任何东西到这些清洗间 (包括钢笔,纸,笔记本等等). 特别的清洗间给你们准备了钢笔和纸。
穿什么?
穿短裤、裙子或赤脚(露腿或腿的任何部分)是不允许的。如果你穿了下雪穿的靴子,带额外的一双鞋子来换。你必须保护你自己和实验室。
