苏州敏芯微电子成长史,国产MEMS企业生存有多艰难?

2017-08-02 11:27:00 来源:EEFOCUS
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“虽然MEMS体量不大,但没有其他任何一个行业能在纳米级和微米级做微型机械产品。MEMS水平代表了国家核心工业实力。”说这句话的是中科院电子所研究员、传感器技术国家重点实验室(北方基地)主任刘昶。

 

目前全球前十名 MEMS厂商主要包括博世、意法半导体、惠普、德州仪器、佳能、InvenSense、 Avago和 Qorvo、楼氏电子、松下等等。其中 BOSCH因为其在汽车电子和消费电子的双重布局,牢牢占据着行业的第一的位置,其营收约占五大公司合计营收的三分之一。

 

 

中国MEMS设计企业主要集中于华东地区,约占全国企业总数的55%。其中以上海、苏州和无锡三地为产业集中地。今天所要说的就是苏州地区的这么一家MEMS传感器公司——苏州敏芯微电子技术股份有限公司(下称“敏芯微”)。

 

产品发展变迁史

敏芯微前身为2006年9月成立上海芯锐微电子技术有限公司,当时上海芯锐公司由公司的国外天使投资人资助进行MEMS硅麦克风的产品研发。2007年7月,公司完成MEMS硅麦克风的产品研发,并获得第一轮风险投资资助,成立苏州敏芯微电子技术有限公司,并与中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所合作,准备MEMS硅麦克风芯片的量产。虽说在这一年敏芯微即可提供符合工业化标准的样品,可是2012年才实现批量出货。

 

敏芯微《公开转让说明书》中董事长李刚的简介

 

2008年,敏芯微完成了MEMS硅麦克风封装技术的开发,并完成了半导体代工厂,微细加工加工厂,以及封装厂的产业链资源整合,具备了批量量产MEMS硅麦克风产品的能力。此外,敏芯还通过了几家重要客户的产品认证。

 

2009年,敏芯微正帮助客户建立MEMS硅麦克风封装线,并已经开始批量出货。公司经过半年市场推广,发现作坊式的小产业链达不到量产标准,于是开始与中芯国际(SMIC)合作,将整个MEMS产业链升级到8寸。

 

2010年实现8寸晶圆的量产,敏芯微是当时SMIC三个MEMS产品量产客户之一,而且是国内唯一的MEMS量产客户。可是随着SIMC成都厂被德州仪器收购,敏芯微不得不重新踏上整合MEMS产业链之路。

 

2011年,敏芯微研发了已获得美国和中国发明专利授权的、代表国际前沿水品的、可用于多种微硅传感器制造加工的SENSA工艺,并且成功地将此技术应用在微硅麦克风传感器、微硅压力传感产品中。此项关键核心技术的突破,为国内以至全球的微硅传感器行业带来了深刻变革。传感芯片的尺寸、精度、可靠性、可加工性以及成本,由于SENSA工艺的引入而产生质的飞跃。这一年敏芯微在华润上华(CSMC)实现第一代的6寸产品的量产,并提交客户验证。

 

2012年,由于与国内传统麦克风厂商的合作一直打不开局面,此时国内MEMS麦克风市场已逐渐扩大,因此敏芯微决定改变商业模式:从出MEMS套片转为出MEMS麦克风成品,从而直接面对消费市场客户。

 

2014年开始与国内第二大半导体封装厂华天科技合作,并成功转移了敏芯独有知识产权的OCLGA封装等多种麦克风封装技术,除此以外还在加速度传感器,压力传感器,Force touch传感器等多条MEMS传感器封装方面开展和技术合作。另外,敏芯也致力于在华天合作建立MEMS麦克风等多种产品的批量测试能力,与华天进行封装、测试全产业链的合作。

 

2015年初,敏芯微联手中芯国际推出了全球最小的商业化三轴加速度传感器,该传感器采用具有国际先进水平的CMOS集成MEMS器件制造技术和基于硅片通孔(TSV)的晶圆级封装(WLCSP)技术,使得产品在面向移动和可穿戴系统的应用市场中,在整体制造成本和微型化方面均极具竞争力。年底,敏芯微正式申请新三板挂牌。

 
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作者简介
张亚
张亚

与非网编辑,网名亚亚君,光电与半导体材料专业出身,喜欢音乐和看书。只愿与你相识在文字中。

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