各方观点:
Kionix:在MEMS应用中,存在两个难点。第一,系统内的模块整合。怎样把感知温度、速度、运动方位等不同用途的传感器和微处理器、电源管理模块整合在一个封装里面,而不会导致互相产生影响?第二,缺乏针对不同应用的MEMS软件开发工具。我们发现,很多MEMS的内置功能没有充分得到使用,原因在于系统设计师对MEMS不了解。所以,MEMS的普遍应用需要有厂商提供类似Linux,C++那样的开发工具软件,让技术人员易于上手。
ADI:对于ADI来说,我们看中MEMS在医疗和工业控制中的应用。从MEMS诞生至今,它经历了三波应用浪潮:第一波是汽车电子,比如安全气囊,这个时期MEMS还比较简单,但主要解决了器件可信赖性的问题;第二波是消费电子,比如在各种便携产品中的应用,这期间主要降低了MEMS的应用成本,因为这一领域信奉的是“成本为王”;现在,我认为最大的应用机会是工业控制的需求,它要求MEMS器件尺寸小,性能强,功耗低。ADI擅长将高质量的信号处理和传感能力整合,因此我们对此寄予厚望。
Applied Material:对于我们这样的应用材料公司而言,MEMS最大的挑战是其不同种类的差异性很大,不仅要求的制造工艺不同,而且我们还要准确预测硬件未来的发展趋势。我们必须和客户不断沟通,以此决定我们研发计划的方向和生产设备的投入,制定合理的产品发展路线图。
Conventor: MEMS是一个还没有建立固定产品标准的行业,无论是设备、制程还是产品标准。由于投资动辄数亿美元,加上牵涉到光学、电子、机械、生物化学、流体力学等各种不同的专业技术领域,我认为MEMS产品的设计方法必须有所创新,CMOS代工厂、EDA工具厂商、设计公司、系统制造商要组成一个MEMS产业生态系统,更多地交流各自的知识积累,避免沟通障碍导致的低效能生产周期。
BOSCH Sensortec:我认为,我们不可能要求MEMS从业者都掌握很深的不同专业的理论知识。据我所知,一些美国大学已经开始了这方面的基础教学,因此人才的专业性问题不是阻碍MEMS最重要的因素。以BOSCH的经验看,企业内部的团队沟通是最重要的事情,我们之所以在德国而不是其他国家设立MEMS代工厂,就是因为我们要保证所有工作人员能够顺畅的采用同一语言进行沟通,不同学科背景的员工随时切磋交流。