MEMS陀螺仪通过驱动活动部件发生共振，然后当垂直于共振方向上发生转动时，科里奥利力就会诱发第三方向上振动。这个传感振动是非常微弱的，只有当处于共振状态时才可能有比较好的信噪比。由此可见，共振是MEMS陀螺仪能正常工作的一个很重要的条件。
一般高性能的MEMS陀螺仪的驱动Q值大于15000，传感Q值大于1000。要达到这样的Q值，振动阻尼必须很小，MEMS必须处在真空当中。即使把MEMS封在真空中，由于机械结构在活动过程中会产生碎末，这些碎末又会影响MEMS的共振Q值。因此，在MEMS空腔中必须添加粒子吸收层（getter）。图一是硅微管共振器示意图。在悬臂上方有一层粒子吸收材料。
图一、有粒子吸收层的硅微管共振器
目前，SAES的粒子吸收薄膜技术是一流的，飞思卡尔和意法半导体均采用其技术。有兴趣的读者可以详细阅读下面这篇文章。(曹志良)
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