图一、LFSTBEB7660演示板为三轴数字低加速度计MMA7660提供了一个评估平台。演示板上有用于数据采集的MCU和数据存储的EEPROM
。 EE Times 科林•约翰逊 美国东部时间2009年6月22日上午12时零一分
俄勒冈州波特兰消息：飞思卡尔半导体公司星期一（6月22日）在丹佛IEEE的传感器2009年会议上宣布其传感器出货量达十亿片。
飞思卡尔的微机电系统（MEMS）部门，原先是摩托罗拉的一部分，拥有30年的传感器历史，根据市场研究公司iSuppli报告，它在汽车传感器上目前排名第一。
飞思卡尔在德州奥斯汀宣布了一项传感器工具箱下载，结合目...
图一、意法半导体公司的单轴和双轴MEMS陀螺仪新系列
MEMS器件、尤其是加速度计和陀螺仪在消费电子市场上的竞争日趋激烈。继5月27日InvenSense发布首个六轴应用方案后不到两周，MEMS消费类电子和便携式应用的领先供应商——意法半导体公司（STMicroelectronics）在6月8日推出了其MEMS陀螺仪的完整新系列。（图一）因为MEMS陀螺仪的设计和制造远比加速度计更为复杂，在应用上又把加速度计的测量直线加速运动上升到了测量旋转运动，可以断言，那些尚未掌握MEMS陀螺仪技术的MEMS公司将在这波竞争中败下阵来，最后不仅未能获得MEMS陀螺仪...
图一、InvenSense六轴MEMS运动处理方案：Z轴陀螺仪（ISZ）、双轴陀螺仪（IDG）和三轴加速度计（IME-3000）。
InvenSense公司在2009年5月27日发布了针对游戏和三维遥控器市场的第一个六轴运动处理方案。InvenSense是消费电子市场MEMS传感器的主要供应商。
这个六轴控制方案包含了公司的第一个Z轴MEMS陀螺仪（ISZ）和新近发布的三轴MEMS加速度计（IME-3000），并结合它的双轴侧滚翻陀螺仪（IDG）。它是世界上第一个基于MEMS的六轴运动处理方案，为消费电子市场提供了最小、最可靠的惯性测量元件。它由两个4x5x1.2毫米封装好的陀螺仪和一个...
IDG-600是双轴（X和Y）MEMS陀螺仪，它用于测量绕X轴和Y轴（器件平面内的两个方向）转动的角速度。制造它的技术是纳西尔加工方法——晶圆片级的封装技术。Invensense公司本身没有芯片加工厂，它设计芯片、研发工艺，然后寻找代工。
IDG-600陀螺仪由三块晶圆片形成——490微米厚的顶盖晶圆片、35微米厚的MEMS晶圆片、以及470微米厚的...
图一、陀螺仪的应用：图像稳定、游戏机、手机、汽车导航、汽车稳定控制等。
爱普生陀螺仪可以工作在零下20度到零上80度，工作电流2.1毫安，电压2.7到3.3伏特。睡眠模式下...
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