示差折光检测器是一种用于检测物体表面形貌和表面高度的仪器,它是通过利用输入的光束在经过被测物体后产生相位差,进而测量出物体上微小高度变化的工具。
1.什么是示差折光检测器
示差折光检测器是一种利用干涉仪原理,实现对被测物体进行非接触式形貌和高度测量的设备。其主要原理是将输入的单色激光束分成两束,经过参考光路和测量光路的反射或透射后,再由探测器进行数字信号转换和处理,得到被测物体表面微小高度差和形貌。
2.示差折光检测器工作原理
当输入的激光光束照射到被测物体的表面时,其会发生反射或透射,其中的一部分与参考光束重合,导致光程延长或缩短,从而引起光程差的变化,这种变化是与被测物体表面高度差有关的。这种光程差会导致两束光发生相移,而相移的大小与被测物体表面高度差成正比。最后,探测器会测量光干涉条纹的强度变化,并将其转换为电信号进行处理和输出。
3.示差折光检测器作用和用途
示差折光检测器在表面形貌、粗糙度、薄膜厚度等方面具有广泛应用。其主要用于以下领域:
- 半导体晶片制造
- 光学元件制造
- 高精度机械加工和装配
- 医学成像领域
通过使用示差折光检测器进行精密测量,可以大大提高测量精度和效率,减少对被测物体的损伤。
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