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    • 1.XPS是什么意思
    • 2.X射线光电子能谱分析原理
    • 3.X射线光电子能谱分析特点
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XPS

2021/06/04
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XPS是X射线光电子能谱的缩写,是一种表面分析技术。通过照射样品表面并测量材料所发出的电子能谱,可以得出材料表面的化学成份、化学键状态、表面形貌信息等。

1.XPS是什么意思

XPS,全称为X-ray photoelectron spectroscopy(X射线光电子能谱),是用于表面分析的技术,利用X射线激发样品表面,并测量材料所发出的电子能谱,从而确定表面元素的化学状态及其他相关信息。

2.X射线光电子能谱分析原理

XPS利用X射线穿过薄样品,使得样品中的元素原子吸收掉入射X射线的光子能量,并将产生了空心能级的原子电离。这时的电子被称作光电子。由于每个元素原子的电子结构不同,因此它对光子吸收和电离的条件也有所不同,能谱分析器采用光电子能谱衡量被激发的原子电离速率和能量,因此可以确定元素的化学状态与化合价。

3.X射线光电子能谱分析特点

相比于传统的表面分析技术,XPS具有以下几个优点:

  • 非破坏性分析:XPS在分析时不需要对样品进行任何加工处理,所以不会对样品造成任何损伤,保持样品完整性。
  • 高灵敏度:XPS可检出微量元素含量,其测量精度可以达到0.1%~1%。
  • 表面化学信息丰富:XPS可以得到物质的化学状态、化合价及电荷分布等详细信息。
  • 定性分析:由于原子级别的解析度,可以用XPS区分不同元素的化学状态和化合价,从而实现材料的定性分析。

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