EUV 终于进入量产阶段,部分尖端芯片制造商计划在 2018 年或最迟 2019 年初采用。ASML 总裁兼执行长 Peter Wennink 在 2017 年表示,“EUV 进入大量芯片制造的准备工作将进一步加快”。
 
ASML 2017 年营收达到 13.4 亿美元,并在第四季额外接单 10 台 EUV 系统,目前 ASML 手中累积未出货的 EUV 设备订单高达 28 台。
 
ASML 指出,随着该公司持续支持中国不断扩展的半导体产业,2016 年半导体制造设备对中国的销售额增加了 20%以上,除了出货在中国营运的外资晶圆厂,ASML 还计划于 2018 年向 5 家中国本土客户供货。
 
EUV 营收占比创新高,ArF-immersion 仍是黄光设备市场规模最大宗产品
晶圆制造导入 EUV 的消息延宕多时,由于先进制程仅采用浸润式曝光机(ArF-immersion)进行黄光制程难以继续为厂商带来成本效益,半导体厂商不得不致力于将 EUV 的导入成为现实,也因此 EUV 对 ASML 的营收占比上升是可预期的结果,先进制程导入 EUV。
 
虽然减少前段晶体管制程 key-layer 的光罩数目,将大幅减少 ArF-immersion 在 Key-layer 的使用,但晶体管微缩使得金属导线线宽也进一步微缩,基于成本考量厂商仍会采用 ArF-immersion 进行部分金属导线制程,加上存储器厂商的产能持续扩增,ArF-immersion 仍是受厂商仰赖的黄光设备。
 
中国对设备厂商的影响力上升
 
 
ASML 于中国当地的营收及积压待配订货统计
 
如图所示,ASML 出货于中国当地的黄光设备营收贡献逐年提升,2017 年已达 7.2 亿美元,占 ASML 总营收 11.3%,虽然相对台湾、韩国及美国占比仍小,但已是 5 年前的 2.1 倍,成长不可谓不大,加上中国当地的积压待配订货(Backlog)也创下新高达到 8 亿美元。
 
显然可见中国对半导体制造业的投资力道未见停歇,对 ASML 而言,中国的影响力越来越大,同样的中国对其他半导体设备业及相关材料厂商也是如此,未来可预见中国当地的半导体供应链越趋完整。