5 月 21 日上午,在上海浦东新区康桥工业园南区,由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的 12 英寸先进生产线建设项目(以下简称“华虹六厂”)实现首台工艺设备——光刻机搬入。

 


据悉,此次搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司的 NXT 1980Di 光刻机,是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。

据了解,近日陆续有多台 ASML 的设备运入中国大陆晶圆制造厂。其中,中芯国际的已经购入首台价值 1.2 亿美元的 ASML EUV 设备;长江存储的首台光刻机也已运抵武汉天河机场,这台光刻机为 ASML 的 193nm 浸润式光刻机,售价 7200 万美元用于 14nm~20nm 工艺。


华力 12 英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目,总投资 387 亿元人民币,将建成月产能 4 万片的 12 英寸集成电路芯片生产线,工艺覆盖 28-14 纳米技术节点。项目计划于 2022 年底建成达产,主要从事逻辑芯片生产,重点服务国内设计企业先进芯片的制造,并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。