初生已成虎狼之势,国产大硅片企业自有燎原之法?

2019-02-03 10:27:50 来源:EEFOCUS
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杭州中芯晶圆
10月8日上午,总投资达10亿美元的杭州中芯晶圆大尺寸硅片项目正式完成主体结构封顶工作。接下来,工厂马上将进入装饰装修、机电设备安装等施工阶段,预计年内可完成土建施工,并于2019年4月投产。

 

杭州中芯晶圆半导体股份有限公司由日本株式会社Ferrotec Holdings、杭州大和热磁电子有限公司、上海申和热磁电子有限公司合资建立,位于杭州大江东产业集聚区,注册资本29亿元,占地13.34多万平方米,厂房面积约15万平方米。

 

该项目拟建设3条8英寸(200mm)、2条12英寸(300mm)半导体硅片生产线,预计全部达产后,将达到8英寸年产540万片、12英寸年产288万片半导体硅片的生产能力。建成后,8英寸硅片生产线将成为目前国内规模最大、技术最成熟的生产线,12英寸硅片生产线则将成为国内首条实现量产的生产线。

 

金瑞泓
金瑞泓科技(衢州)有限公司投资70418万元,在衢州市绿色产业集聚区新增土地约100亩,新建厂房及配套设施。项目分期实施,一期实施60万片/年外延片生产线,其中原料抛光片外购,不自行生产;二期实施60万片/年外延片生产线,其中原料抛光片(含一期)自行生产,原材料为重掺磷直拉硅单晶锭。

 


 

主要设备:外延炉5台、硅片清洗机1台、片盒清洗机1台、钟罩清洗机1台、单晶炉30台、化腐清洗机5台、切断机2台、滚圆机2台、线切割7台、切片清洗机1台、倒角机5台、磨片机2台、磨片清洗机1台、酸腐蚀机1台、喷砂机1台、喷砂清洗机1台、热处理炉3台、SiO2边缘剥离机1台、自动清洗机1台、边缘抛光机1台、抛光机2台、一次清洗机1台、片盒清洗机1台、最终清洗机1台等。

 

项目优势:

1.建立了完善的单晶炉热场设计理论和大直径硅单晶生长理论,掌握了8英寸低cop和无cop完美单晶生长技术。本项目原材料为重掺磷直拉硅单晶锭。

 

2.掌握了高平整度8英寸硅片抛光技术、高洁净度硅片清洗技术和缺陷工程技术,硅片几何参数和表面颗粒指标达到了8英寸集成电路的高标准,其中主要指标:SFQR<0.13um,TTV<1.5um。

 

3.掌握了8英寸大直径硅片外延技术,在大直径硅片条件下实现高厚度、高电阻率均匀性要求和热应力控制(滑移线)。掌握了电阻率小于0.004Ωcm的8英寸重掺硼衬底无失配(misfit)外延技术,这项技术具有世界领先的技术水平。

 

4.硅外延生产线引进意大利进口生产线,在国际上属于先进水平,并且拥有与之配套的氢气纯化、硅源温度控制、尾气处理、高纯气体输送等辅助设备。

 

5.检测、分析方面,配置先进的汞探针测试仪、红外测试仪、无损伤少子寿命测试仪、四探针测试仪、硅表面颗粒扫描仪等。

 

6.物料的输送均采用密闭系统,DSC集中控制。

 
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作者简介
邱丽婷
邱丽婷

与非网编辑,网名:泥点子。愿做电子世界的沧海一粟,以赤子之心,追寻真理。

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