初生已成虎狼之势,国产大硅片企业自有燎原之法?

2019-02-03 10:27:50 来源:EEFOCUS
标签:

 

杭州中芯晶圆
10月8日上午,总投资达10亿美元的杭州中芯晶圆大尺寸硅片项目正式完成主体结构封顶工作。接下来,工厂马上将进入装饰装修、机电设备安装等施工阶段,预计年内可完成土建施工,并于2019年4月投产。

 

杭州中芯晶圆半导体股份有限公司由日本株式会社Ferrotec Holdings、杭州大和热磁电子有限公司、上海申和热磁电子有限公司合资建立,位于杭州大江东产业集聚区,注册资本29亿元,占地13.34多万平方米,厂房面积约15万平方米。

 

该项目拟建设3条8英寸(200mm)、2条12英寸(300mm)半导体硅片生产线,预计全部达产后,将达到8英寸年产540万片、12英寸年产288万片半导体硅片的生产能力。建成后,8英寸硅片生产线将成为目前国内规模最大、技术最成熟的生产线,12英寸硅片生产线则将成为国内首条实现量产的生产线。

 

金瑞泓
金瑞泓科技(衢州)有限公司投资70418万元,在衢州市绿色产业集聚区新增土地约100亩,新建厂房及配套设施。项目分期实施,一期实施60万片/年外延片生产线,其中原料抛光片外购,不自行生产;二期实施60万片/年外延片生产线,其中原料抛光片(含一期)自行生产,原材料为重掺磷直拉硅单晶锭。

 


 

主要设备:外延炉5台、硅片清洗机1台、片盒清洗机1台、钟罩清洗机1台、单晶炉30台、化腐清洗机5台、切断机2台、滚圆机2台、线切割7台、切片清洗机1台、倒角机5台、磨片机2台、磨片清洗机1台、酸腐蚀机1台、喷砂机1台、喷砂清洗机1台、热处理炉3台、SiO2边缘剥离机1台、自动清洗机1台、边缘抛光机1台、抛光机2台、一次清洗机1台、片盒清洗机1台、最终清洗机1台等。

 

项目优势:

1.建立了完善的单晶炉热场设计理论和大直径硅单晶生长理论,掌握了8英寸低cop和无cop完美单晶生长技术。本项目原材料为重掺磷直拉硅单晶锭。

 

2.掌握了高平整度8英寸硅片抛光技术、高洁净度硅片清洗技术和缺陷工程技术,硅片几何参数和表面颗粒指标达到了8英寸集成电路的高标准,其中主要指标:SFQR<0.13um,TTV<1.5um。

 

3.掌握了8英寸大直径硅片外延技术,在大直径硅片条件下实现高厚度、高电阻率均匀性要求和热应力控制(滑移线)。掌握了电阻率小于0.004Ωcm的8英寸重掺硼衬底无失配(misfit)外延技术,这项技术具有世界领先的技术水平。

 

4.硅外延生产线引进意大利进口生产线,在国际上属于先进水平,并且拥有与之配套的氢气纯化、硅源温度控制、尾气处理、高纯气体输送等辅助设备。

 

5.检测、分析方面,配置先进的汞探针测试仪、红外测试仪、无损伤少子寿命测试仪、四探针测试仪、硅表面颗粒扫描仪等。

 

6.物料的输送均采用密闭系统,DSC集中控制。

 
关注与非网微信 ( ee-focus )
限量版产业观察、行业动态、技术大餐每日推荐
享受快时代的精品慢阅读
 

 

作者简介
邱丽婷
邱丽婷

与非网编辑,网名:泥点子。愿做电子世界的沧海一粟,以赤子之心,追寻真理。

继续阅读
为确保新客户安全,全球晶圆代工厂各显其能

全球晶圆代工厂(Foundry)都在努力确保客户的安全。排名第一和第二的台积电、三星电子拥有更先进的制造技术,竞争相当激烈,其他代工厂如中芯国际,GlobalFoundries和联华电子(UMC)之间的竞争也非常激烈。由于对系统半导体的需求增加,他们正在尽力确保新客户的安全。

华为联发科强强联手?亚洲芯片双雄达成合作

芯片是现在多数企业都比较关注的事情,受贸易战影响,今年大家对华为海思和联发科的关注度更是大大提升,那么如果亚洲芯片双雄达成合作,会擦出怎样的美丽火花?

为进一步减轻负担,格芯已将光掩膜转移给 Toppan Photomasks

与非网8月16日讯,东京上市企业Toppan Printing旗下子公司Toppan Photomasks与先进的特殊工艺晶圆厂格芯13日共同宣布,双方已达成长期供应协议。

谁给了三星勇气,敢挑战台积电?

台积电近来多事之秋,于2018年6月完成管理层交班,也分别在2018年8月发生计算机病毒感染事件,和2019年1月爆发晶圆质量瑕疵事件,但幸亏30年来,制程研发步步为营,稳打稳扎,保证先进制程一路领先。

工业 4.0 的规划这么美好,为何却少有应用到一线的?

在聊到工业4.0、智慧工厂、智能制造、IIoT的时候,除了研讨会、论坛以及文字资料,实际真正重要的是“落地”,唯有落地才能真正解决生产问题。我们在听到很多有关工业4.0的美好规划时,又有多少内容是已经能够真正实现,应用到生产一线的?

更多资讯
苹果委托京东方测试柔性OLED屏幕,已经入最后认证阶段;高通CEO谈中国5G发展:中国没有落后美国,还领先了

三星7nm并不成熟?良率问题导致高通5G芯片全部产品报废;苹果委托京东方测试柔性OLED屏幕,已经入最后认证阶段;高通CEO谈中国5G发展:中国没有落后美国,还领先了

民企500强榜单排名公布,第一名毫无意外就是它

2019年8月22日消息, 今天,全国工商联在青海西宁发布了《2019年中国民营企业500强报告》,华为投资控股有限公司、海航集团有限公司和苏宁控股集团位列前三。具体来看,华为投资控股有限公司以201

中微公司 H1 财报:营收增长 72.03%,已获 5nm逻辑电路、64 层 3D NAND 订单

与非网8月22日讯,科创板中微公司上半年营收同比增72%,净利润同比扭亏为盈。

长电科技、华天科技、通富微电,国内三大封测厂商最新动作一览

为了应对上游晶圆产线释放的产能以及先进封装进入黄金发展期所带来的机遇,近两三年来国内外封测厂商纷纷进行扩产布局,国内以长电科技、华天科技、通富微电三家大厂动作明显。

2019中国(深圳)集成电路峰会 于8月22日在深圳成功举办

由深圳市人民政府、国家“核高基”重大专项总体专家组、国家集成电路设计产业技术创新联盟、中国半导体行业协会集成电路设计分会、中国通信学会集成电路专委会主办的“2019中国(深圳)集成电路峰会”,于8月22日在深圳福田香格里拉大酒店成功召开。