初生已成虎狼之势,国产大硅片企业自有燎原之法?

2019-02-03 10:27:50 来源:EEFOCUS
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上海新昇
上海新昇半导体科技有限公司12英寸大硅片项目位于上海浦东新区临港重装备园区,一期项目投资18亿元,设计产能为15万片/月的12英寸硅片,预计全年电子级多晶硅使用量为450吨,目前已经投产。

 

作为国内首个300mm大硅片项目,上海新昇的动态一直备受业界关注,继向上海华力微销售正片后,日前再传出好消息:其大硅片已通过中芯国际认证。

 

上海新昇项目于2015年7月正式动工,自2017年第二季度开始有挡片、空片、陪片等测试片的销售,并向中芯国际、上海华力微、武汉新芯等晶圆制造企业提供正片进行认证。2018年一季度末,上海新昇300mm硅片正片通过上海华力微的认证并开始销售, 如今终于传来好消息。12月20日,上海新阳在互动平台上透露,上海新昇公司大硅片已通过中芯国际认证。这对于上海新昇甚至整个国产硅片而言都是个好消息。

 

项目优势:
1.本项目所使用的技术均来自上海新昇开发的技术以及引进部分关键核心技术,在生产设备与机台的选型上采用具有国际或国内先进水平的高效低耗的设备,以降低能耗。

 

2.上海新昇将设立专职的研发部门,分别为前后段的工艺、设备、品管和产品优良率从事研究和开发工作。

 

3.上海新昇与韩国的S公司和美国的K公司达成协议,三方组成研发团队,共同为本公司的各种拉晶炉进行不断的研发与改进。同时上海新昇的研发团队还将对“回火炉和表面处理炉”等关键技术和设备继续研发。

 

目前该项目已经投产,产品已经通过了华力微电子的认证,中芯国际认证。

 

西安奕斯伟硅产业基地项目
西安奕斯伟硅片技术有限公司成立于2018年2月,是奕斯伟科技有限公司(ESWIN)在西安成立的硅材料制造公司。该项目投资30亿元,地点位于长安通讯产业园区,设计产能为5万片/月的12英寸硅片。从开工到投产运营预计共21个月,于2020年6月投产。

 

1月17日,西安奕斯伟硅产业基地项目正式封顶, 最终目标:月产能100万片

 


项目优势:
1.拉晶方面将优选具有最佳直径控制系统和生长系统的拉晶炉,配备32寸的热场,通过加载超导磁场控制熔体对流,拉直无错位的单晶硅棒。

 

2.硅片加工技术采用目前业内最先进的切片设备,保证硅片的切制品质,配置德国的抛光设备,保证硅片表面的几何结构达到先进纳米制程的需求。

 

3.在清洗设备的选择上,将选择最佳的日本清洗设备,配置最高等的洁净间设计、动力供给和生产管控,去除硅片表面残留的颗粒。

 

4.外延工序,优选最佳的美国外延设备,该设备能有效降低外延生长过程中原子间的滑移,确保外延片的质量。

 

郑州合晶硅片项目
郑州合晶硅材料有限公司成立于2017年2月,是由台湾合晶科技集团下属的上海合晶硅材料有限公司和上海晶盟硅材料有限公司共同出资组建,投资12亿元在郑州航空港经济综合实验区建设年产240万片200mm硅单晶抛光片生产项目。台湾合晶科技集团公司是全球第七大硅片供应商,也是全球前三的低阻重掺硅片供应商,致力于半导体硅片产业已有20余年。

 

本项目设计生产200mm轻掺硅单晶抛光片(轻掺硼、轻掺磷)120万片/年;200mm重掺硅单晶抛光片(重掺硼、重掺磷、重掺砷、重掺锑)120万片/年,每年约消耗300万吨电子级多晶硅。

 


 

项目优势:
1.采用先进的直拉法长晶技术,长晶条件稳定,可得到电阻率及掺质分布均匀的优质单晶。

 

2.应用先进的液体覆盖直拉技术,即在晶体生长室内充入惰性气体,使其压力大于熔体的分解压力,以抑制熔体中挥发性组元的蒸发损失。

 

3.使用清洁的面清洗电子级多晶硅原料,从源头上减少污染物的产生。

 

4.采用先进的切、磨、抛和洁净封装工艺,保证产品质量和优良的性能指标。

 

5.本次工程中的长晶炉、坩埚、石墨加热器、线切割机/钢线、研磨机及配套组件均选用国外先进生产设备。

 

6.采用节能设备降低能耗,并使用自控技术方案,提高了生产自动化水平。

 
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作者简介
邱丽婷
邱丽婷

与非网编辑,网名:泥点子。愿做电子世界的沧海一粟,以赤子之心,追寻真理。

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