我国科学家造出9nm光刻试验样机,以后集成电路制造不再受制于人?

2019-04-15 15:55:34 来源:互联网
标签:

 

4月10日记者从武汉光电国家研究中心获悉,该中心甘棕松团队采用二束激光在自研的光刻胶上突破了光束衍射极限的限制,采用远场光学的办法,光刻出最小9纳米线宽的线段,实现了从超分辨成像到超衍射极限光刻制造的重大创新。

 

光刻机集成电路生产制造过程中的关键设备,主流深紫外(DUV)和极紫外(EUV)光刻机主要由荷兰ASML公司垄断生产,属于国内集成电路制造业的“卡脖子”技术。2009年甘棕松团队遵循诺贝尔化学奖得主德国科学家斯特凡·W·赫尔的超分辨荧光成像的基本原理,在没有任何可借鉴的技术情况下,开拓了一条光制造新的路径。

 

9nm线宽双光束超衍射极限光刻试验样机

 

双光束超衍射极限光刻技术完全不同于目前主流集成电路光刻机不断降低光刻波长,从193纳米波长的深紫外(DUV)过渡到13.5纳米波长的极紫外(EUV)的技术路线。甘棕松团队利用光刻胶材料对不同波长光束能够产生不同的光化学反应,经过精心的设计,让自主研发的光刻胶能够在第一个波长的激光光束下产生固化,在第二个波长的激光光束下破坏固化;将第二束光调制成中心光强为零的空心光与第一束光形成一个重合的光斑,同时作用于光刻胶,于是只有第二束光中心空心部分的光刻胶最终被固化,从而远场突破衍射极限。

 

纳米加工三维结构的设计及实际光刻效果图

 

该技术原理自2013年被甘棕松等验证以来,一直面临从原理验证样机到可商用化的工程样机的开发困难。团队经过2年的工程技术开发,分别克服了材料,软件和零部件国产化等三个方面的难题。开发了综合性能超过国外的包括有机树脂、半导体材料、金属等多类光刻胶,采用更具有普适性的双光束超分辨光刻原理解决了该技术所配套光刻胶种类单一的问题。实现了微纳三维器件结构设计和制造软件一体化,可无人值守智能制造。

 

同时通过合作实现了样机系统关键零部件包括飞秒激光器、聚焦物镜等的国产化,在整机设备上验证了国产零部件具有甚至超越国外同类产品的性能。双光束超衍射极限光刻系统目前主要应用于微纳器件的三维光制造,未来随着进一步提升设备性能,在解决制造速度等关键问题后,该技术将有望应用于集成电路制造。甘棕松说,最关键的是,我们打破了三维微纳光制造的国外技术垄断,在这个领域,从材料、软件到光机电零部件,我们都将不再受制于人。

 

 
关注与非网微信 ( ee-focus )
限量版产业观察、行业动态、技术大餐每日推荐
享受快时代的精品慢阅读
 

 

继续阅读
集成电路进口额同比有所减少,对我国来说是好消息吗?

今年1~3月,中国集成电路出口1490.3亿元,同比增长25.2%;进口4426.9亿元,同比减少2.9%。中国机电产品进出口商会行业发展部总监高士旺表示,中美贸易磋商结果将对全球半导体行业重塑价值链和全球产业布局产生深远影响,存储行业价格波动也将对全球销售额与贸易额产生明显影响。

华澜微电子融资2.4亿人民币,我国集成电路芯片又添一员猛将?
华澜微电子融资2.4亿人民币,我国集成电路芯片又添一员猛将?

2019年4月22日,华澜微电子新一轮融资到位资金2.4亿元人民币,本轮融资用于推进华澜微与国际战略伙伴的战略合作以及企业级高端核心控制器芯片开发、量产规模应用以及研发中心建设等。

你被假芯片坑过吗?郑州海关销毁2万哥假冒TI芯片,大快人心!

4月23日,郑州海关在新乡市无害化销毁2万个、总货值704万元的假冒家用轿车中央主控集成电路。

台积电花150亿买18台顶级光刻机,再次增强生产规模?

来自产业链的最新消息称,台积电将包揽ASML这批EUV光刻机中的18台,加上先前的几台,可以在今年3月份启动7nm EUV的量产,推动7nm在其2019年晶圆销售中的占比从去年的9%提升到25%。

2019年国内集成电路现状分析

近日,高通和苹果同时官宣,双方同意放弃全球范围内所有诉讼,正式和解。高通表示,作为该协议的一部分,它与苹果之间的授权期限为6年,还可以延长两年。从结果来看,强如苹果公司,在基带芯片方面最终还得向高通妥协,这足以见得芯片及集成电路产业的重要性。

更多资讯
手机销量低谷已过?稳懋预计砷化镓市场将回升

砷化镓厂稳懋25日召开财报会,展望第2季,资深副总经理陈舜平表示,目前已看到亚洲区客户需求回温,且逐月、逐季均有成长趋势,预估第2季营收可望较首季约有15%成长,毛利率则恢复至约31-33%水平。

长电科技子公司星科金朋侵犯博通专利,被提起仲裁?

4月25日,长电科技发布公告表示,公司接控股子公司STATSCHIPPACPTE.LTD.(星科金朋)通知,BroadcomCorporation、BroadcomLimited,及BroadcomSingaporePte.Ltd.(以下合称“博通公司”)就《SemiconductorPackagingAgreement》合同履行争议事项

三星电子第一季度陷入“营益危机”,隔壁三星SDS反而过得很好?

三星集团主力公司三星电子第一季陷入“营益危机”,但三星SDS迎来暖春,第一季的营收、营益皆成长。

改进人工智能部署的五种方法

在2019年1月,Gartner发布了一项调查,37%的受访者表示他们已经在某种程度上使用了人工智能(AI),但54%的受访者表示,他们所在组织的技能短缺阻碍了他们积极推进使用人工智能的进程。

对半导体产业如此重要的IP产业,为何常常被人们忽视?

“从规模来说,IP公司业务不如产品公司那么大,如果只从体量上考虑政策,不一定会重视到IP,因为IP对GDP贡献不大。” 向建军告诉记者,因为IP产业规模小,如果积极发展半导体产业的地方政府只看经济规模及对就业的拉动,往往就把IP给忽略了。