FMM(Fine Metal Mask,精细金属掩模版)是中小尺寸柔性 OLED 生产中不可或缺的材料,是形成高分辨率像素的必需零部件。在比纸还薄的金属上钻孔,是肉眼都看不到的极细微的孔洞,孔洞的样式和角度不同,产品也品质不同。要承受高达 400~500℃的高温工程,同时在加热的时候,掩膜版不能发生延长或下垂。在柔性 OLED 实现商用化数年期间,韩国厂商一直在尝试 FMM 的国产化,但目前为止还没有合适的应对方案。

 


FMM 是完全依赖日本的代表性核心零部件。FMM 使用由铁和镍合成的 Invar 材质。因为热膨胀系数(CTE)非常低,被认为是在高温下增加有机物的 OLED 生产工程最适合。

 

目前能生产最适合中小尺寸柔性 OLED 的 Super Invar 的厂商是日本 Hitachi Metals。DNP(大日本印刷)从 Hitachi Metals 获得 Super Invar 合金并制造出 FMM。尤其是拥有 20μm 以下的薄型 FMM 生产技术,因此在市场上处于垄断地位。

 

三星显示与 Hitachi Metals-DNP 签订了 20μm 以下厚度的 FMM 独供合同。DNP 虽然也向 LG 显示和中国面板厂商供应 FMM,但是供应的是技术水平较低的 30μm 更加厚的产品。FMM 越厚越难实现高分辨率。

 

韩国为了打破 DNP 垄断的结构,很多中小企业持续了数年的攻关。Wavetc,TGO Tech,Philoptics 等厂商正在开发 FMM。与 DNP 采用的压延和蚀刻的方式不同,韩国厂商正在尝试通过电溶解将基板镀金制作薄板的电铸(Electroforming)方式。APS Holdings 和 AP System 则正在开发通过激光形成 Mask 孔洞的技术和相关设备。

 


FMM 开发厂商的一位相关人士称“韩国厂商即使实现 FMM 国产化,预计能够实际采用还会有很多困难“,”稍有不慎,现有供应商 DNP 可能会减少产量,造成生产出现问题的状况,因此需求厂商的国产化项目不得不遮遮掩掩,看着眼色进行。“