与非网 11 月 8 日讯,去年 4 月,中芯国际向荷兰 ASML 公司订购了一台 EUV 光刻机,用于研究 7nm 及以下的先进工艺。花费超过 1.2 亿欧元(约 10 亿人民币),预计今年底交货,2020 年正式安装。来自日经新闻消息称,因为受到美国政府关切,ASML 将延后对中国晶圆代工企业中芯国际出货。

  

消息发酵后,中芯国际股价因此受挫,今日跌幅一度超过 6%。

  

对此 ASML 与中芯国际均对此表示否定。

  

11 月 7 日下午,ASML 向媒体回应称,对于日经新闻报道的关于交货时程仅为其媒体推测,ASML 从未评论或确认,对其将推测直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述,表示抗议。

  

ASML 相关负责人强调:“实际上在我们第三季度财报中,就已经将相关情况进行说明,根据瓦圣纳协议(Wassenaar Arrangement),ASML 出口 EUV 到中国需取得荷兰政府的出口许可(export license)。该出口许可于今年到期,ASML 已经于到期前重新进行申请,目前正在等待荷兰政府核准。因此,关于“ASML 决定延迟 / 终止出货”的说法是错误的,ASML 系遵循法规行事,并一视同仁地服务我们全球客户。”

  

对于何时能拿到许可证,ASML 相关负责人表示,目前处于正常的流程状态中,尚未掌握确切的时间。


中芯国际刚刚也进行回应:“极紫外光(EUV)还在纸面工作阶段,未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前,研发与生产的连结一切正常,客户与设备导入正常运作。”

  

ASML 是全球 EUV 光刻机的唯一供应商,并且是全球市值最高的芯片设备制造商。ASML 年收入约在 83 亿欧元 (约 92 亿美元) 左右。其中 16%来自英特尔和美光等美国公司,19%来自中国。据了解,台积电、三星已于 2019 年导入量产最先端产品的 EUV 设备,且苹果预计 2020 年下半开卖的新型 iPhone 预估就会搭载采用该技术的 CPU。

  

中芯国际是我国最大的半导体制造公司,今年 14nm 制程已经实现量产,追平台联电 14nm 制程工艺,如果未能准时拿到最先进光刻机设备,或影响赶超台积电的日程表。

  

目前台积电台积电将包揽 ASML 今年的 30 台 EUV 光刻机中的 18 台,不过量产的 7nm 制程仍是基于 DUV(深紫外)工艺,今年 3 月份才启动 7nm EUV 的量产。而三星在去年就小规模投产了 7nm EUV。

  

不过,业内人士透露,这批设备仍预计将在 2019 年底前出货,并且在 2020 年底前完成装机。