北方华创：受惠国内FAB建设高潮，半导体设备未来成长将爆发

北方华创财报显示，2019 年营收突破 40 亿，相较 2018 年成长 22%，是国内半导体设备上市公司中增幅最高的。2019 年实现归属于上市公司股东的净利润 3.09 亿元，较 2018 年专长 32%。2019 年公司营收逐季增长，第四季营收高达 12 亿元，占全年营收的 32.6%。

北方华创主要产品为电子工艺装备和电子元器件，是国内主流高端电子工艺装备供应商，也是重要的高精密、高可靠电子元器件生产基地。高端电子工艺装备主要包括半导体装备、真空装备和锂电装备，广泛应用于集成电路、半导体照明、功率器件、微机电系统、先进封装、光伏、新型显示、真空电子、新材料、锂离子电池等领域。

由于涉及所限，本文仅谈谈半导体装备的情况。

财报指出，国内集成电路生产线新建及扩产项目投资较前几年有较大幅度增加，先进存储器、新型传感器件、功率器件、先进封装等产线投资尤为强劲，给国内集成电路工艺装备产业带来千载难逢的发展机遇；光伏行业投资保持持续增长的趋势，龙头企业设备投资扩产依然强劲；LED 芯片行业产线扩产投资较前几年有所放缓，但对 Mini/Micro LED 技术升级改造的意愿强烈；新型显示行业国产 OLED 面板产线已经进入量产阶段，设备投资保持平稳态势；随着 5G 通讯兴起，SiC、GaN 等第三代半导体器件开始获得广泛应用，对Ⅲ-Ⅴ族晶体设备及工艺设备的投资需求持续增强。而随着公司持续高强度的技术研发投入，半导体工艺装备产品日趋成熟，市场占有率在不断提升，受到行业龙头客户的广泛信赖。

北京北方华创微电子装备有限公司是北方华创旗下专营半导体设备的子公司，2019 年营收为 25.93 亿元，较 2018 年增长 30%，占公司总营收的 64%；净利润为 7771 万元，较 2018 年下滑 18%，占公司总利润的 21%；净利润率仅仅 3%，较 2018 年下降 1.74 个百分点。

国内 FAB 建设情况

而 2020 年将是国产存储芯片的关键一年。长鑫存储的产品已经在多个头部企业通过验证，今年月产能将要实现产能翻倍，有可望达到 5 万片；长江存储的 128 层 3D NAND 已经 128 层 QLC 3D NAND 闪存（X2-6070）研发成功，并已在多家控制器厂商 SSD 等终端存储产品上通过验证，产能今年也有望达 5 万片。存储芯片产能扩张驱动国产半导体设备进入一轮小高潮。

逻辑制程获得突破，设备开支增加。中芯国际在 2019 年三季度实现 14 纳米量产，同时 12 纳米已经客户导入；N+1 代工艺也要开始风险试产。按照规划，今年将提升月产能至 1.5 万片，未来将建成月产能 7 万片先进生产线。华虹集团 14 纳米工艺于 2020 年 1 月全线贯通，28 纳米（28LP/28HK/28HKC+）均实现量产。先进制程的突破，中芯国际和华虹集团将在未来三到五年大幅扩大资本支出。

功率半导体产线今年迎来扩张浪潮。华虹无锡 12 英寸今年将扩产，士兰微厦门 12 英寸工厂今年将投产，华润微重庆 12 英寸项目将启动，芯恩 8 英寸将投产，海芯、富芯项目已经启动，功率半导体生产线在未来五年内将带来超过 500 亿元设备需求。

MEMS 产线方面，今年赛莱克斯将有望投产，还有两条新 8 英寸 MEMS 产线启动，也将极大带动需求。

宽禁带半导体产线今年项目密集开工，下半年和明后两年将是设备的进入高潮期。

还有先进封装产能的扩产和启动，都将为国产设备开启大门。

北方华创的半导体装备涉及刻蚀机、PVD、CVD、清洗机、炉管五大类别。刻蚀机、PVD 设备、单片退火设备、清洗设备、立式炉等在 65-28nm 工艺产线上已实现量产交货；应用于 14nm 先进制程的等离子硅刻蚀机、Hardmask PVD、Al-Pad PVD、ALD、单片退火系统、LPCVD 已正式进入集成电路主流代工厂。

具体来说，在刻蚀机领域，北方华创自主研发了国内首台应用于 14nm 制程的等离子硅刻蚀机，已经交付客户量产生产线；PVD 领域，在溅射源、等离子产生与控制等关键技术取得突破，其中 Hardmask PVD 设备应用于 28nm 制程，已成为国内主流芯片代工厂的 Baseline 设备，铜互连 PVD 也正在多家客户生产线验证；CVD 领域，已完成 PECVD、APCVD、LPCVD、ALD 等设备的开发，产品线丰富，其中应用于太阳能光伏制造的 PECVD 设备已实现进口替代，卧式 LPCVD 也成功应用于半导体级碳纳米管生长；炉管领域，公司包括 HORIS/THEORIS 等系列氧化扩散设备，以及退火设备。

作为国产半导体设备龙头企业，北方华创已经有包括刻蚀机、PVD、CVD、外延设备、湿法清洗、炉管等在内的 30 多种成熟设备在国内集成电路生产线上量产使用。

半导体设备是实现集成电路技术进步的关键。而且半导体设备是晶圆制造厂的最大投资项，约占整体投资总额的 60-70%。芯思想研究院数据显示，国内在建的 15 个 Fab 投资总计将超过 5000 亿元，未来 5 年将会带来超过 3000 亿元设备需求。

北方华创 IC 装备有刻蚀机、PVD、ALD、炉管及清洗机，占产线设备总投资的比例分别为 22%、5%、3%、5%和 5%，综合来看公司 IC 装备覆盖产线设备投资额的 40%。如此算来，国内市场在未来五年释放给北方华创的市场空间将高达 1200 亿。

空间虽大，但也要北方华创静下心来，与国内晶圆制造企业携手开发，共创中国半导体的未来。