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先进光刻机进场,加速粤芯半导体进程

2020/06/03
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据潇湘晨报消息,已从投资方智光电气确认粤芯半导体更先进光刻机已进场,为扩产做好准备。此外,据透露,今年年底之前,投资 65 亿的二期项目将进入设备调试,争取明年上半年实现量产。

智光电气于 2019 年 3 月曾表示,广州粤芯半导体公司采购的是荷兰 ASML 的光刻机,已于 2019 年 3 月中旬搬进粤芯半导体主厂房,目前在做量产前的最后调试准备。

粤芯半导体项目是国内第一座以虚拟 IDM (irtuallDM)为营运策略的 12 英寸芯片厂,是广州第一条 12 英寸芯片生产线,也是广东省及粤港澳大湾区目前唯一进入量产的 12 英寸芯片生产平台,已列为广东省、广州市重点建设项目。

2017 年 12 月,粤芯半导体项目一期奠基,2018 年 3 月,桩施工,2018 年 10 月主体结构封顶,2019 年 3 月首批设备搬入,2019 年 6 月生产设备调试完毕开始投片,2019 年 9 月 20 日正式宣告投产。

今年 2 月 28 日,粤芯半导体二期扩产项目成功签约,二期建设将新增投资 65 亿元,专注于 65-90nm 模拟工艺平台,生产高精度数模转换芯片、高端电源管理芯片光学传感器、车载及生物传感芯片等产品。预计到 2022 年,粤芯半导体一期、二期将共达到月产 4 万片 12 寸的产能,将进一步满足粤港澳大湾区芯片市场的需求。

 

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