与非网 11 月 6 日讯  近日,江苏微导纳米科技股份有限公司(简称“微导纳米”)获来自某先进半导体芯片制造企业的首个订单,即将交付首台用于先进技术节点的原子层沉积(ALD)量产设备。

 

微导纳米官方消息显示,该产品聚焦全球 IC 制造市场,为逻辑、存储等超大集成电路制造提供关键工艺技术和解决方案。尤其是在国内尖端半导体芯片制造方面,产品技术可覆盖 45 纳米到 5 纳米以下技术节点所必需的高介电常数栅氧层 ALD 工艺需求,填补了该领域无国产设备的空白。

 

此外,微导纳米副董事长兼首席技术官黎微明博士表示,期待首台 ALD 设备在客户产线能够以最快速度顺利导入量产,以此为起点和客户一起建立先进制程开发和制造能力。

 

企查查显示,微导纳米成立于 2015 年,是一家面向全球的高端设备制造商,专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备的开发、设计、生产和服务。

 

2020 年,微导纳米自主研发的凤凰系列 ALD 薄膜沉积系统成功实现量产化,专用于先进超大集成电路(VLSI)制造所需各类 ALD 薄膜沉积工艺。

 

微导纳米推出的 ALD 设备面向全球市场,将改变长期以来半导体先进制程关键工艺被极少数装备制造商垄断的现状,为尖端半导体制造提供了更多选择,同时对国内的半导体产业链成长具有极大的意义。未来,微导纳米还将推出一系列半导体领域 ALD 技术和装备,用于逻辑、存储、特色工艺、化合物半导体等芯片制造,力争成为 ALD 技术产业化应用的先行者与领导者。

       

微导纳米是新投集团于 2019 年 12 月投资的一家高新技术企业。公司以原子层沉积技术为核心,致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用,为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案。目前,微导纳米正在科创版 IPO 受理中。