与非网3月5日讯,近日,中芯国际发布公告表示公司于2月1日与阿斯麦(ASML)上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议,将采购协议的期限延长一年至2021年12月31日。根据批量采购协议,公司已就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品(即光刻机)与阿斯麦集团签订购买单,订单金额12亿美元。

 

由于此次中芯国际未公布订单包含的产品或机器型号,引来外界很多猜测。很多分析人士都认为,在这份公告中提及了“用于生产晶圆的产品”,因此这次中芯国际向阿斯麦购买的订单很明显就是光刻机!

 

对此,ASML发布公告公告提表示,中芯国际已根据香港上市规则披露了与ASML的批量购买协议(VPA)。这与DUV光刻技术的现有协议相关,该协议已于2018年1月1日签订,最初将一直持续到2020年12月31日,并于2021年2月1日延长至2021年12月底。

 

VPA下的采购订单总额在2020年3月16日至2021年3月2日期间过去的12个月中完成,总计12亿美元。VPA对于ASML而言不是重要事件。我们了解,根据香港上市规则,VPA构成中芯国际的可披露事件。

 

EUV和DUV到底有啥区别呢?了解到,DUV基本上只能做到25nm,Intel凭借双工作台的模式做到了10nm,但是却无法达到10nm以下。只有EUV能满足10nm以下的晶圆制造,并且还可以向5nm、3nm继续延伸。事实上EUV光刻机的出现,确实是帮助业界突破7nm制程的一个关键。

 

据悉,中芯国际此次购买DUV光刻机主要用于扩充产能。据传闻,此次购买设备型号或包含NXT 1980Di和NXT2050i。

 

阿斯麦是全球最大的半导体光刻设备供应商,实现7nm以下先进半导体制程的关键设备——极端紫外线光刻机(EUV)就由该公司生产,并且是全球唯一能够量产EUV的厂商。