与非网3月30日讯 据中欣晶圆发布,Ferrotec(中国)旗下安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司投资建设年产 240 万枚半导体晶圆再生项目,项目计划总投资 10 亿元,占地 75 亩,新建厂房 56774.38 平方米。

 

据悉,该项目购置国内外先进设备数百台套(关键工序采用进口设备及专用设备),建设周期 15 个月,项目建成后将形成年产 240 万枚 300mm 半导体晶圆精密再生的生产线。

 

官方介绍,安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司由日本 FerroTec 株式会社(日本磁性流体技术控股有限公司)在中国的全资子公司上海申和热磁电子有限公司于 2019 年在铜陵发起创立。日本 FerroTec 株式会社(日本磁性流体技术控股有限公司)于 1992 年正式进军中国市场。

 

FerroTec(中国)现已成长为集产品研发、制造、销售于一体的多元化企业集团。旗下管理的 20 余家公司与制造基地遍布中国各地,为国内外客户提供具有世界先进水平的材料、器件、装备和系统解决方案。

 

项目具有国内配备最完善的再生晶圆生产线,也是国内首家专业从事 300mm 大尺寸硅片晶圆再生的专业厂商,填补国内该领域空白。本项目的建设,将促使国内晶圆厂摆脱长期主要依赖进口的窘境,使其在国内即可实现高水平的大尺寸晶圆再生。

 

采用国际一流的 300mm 晶圆用全自动精密 CMP 研磨机,研磨加工实现全程自动化,厚度损失少;设备内部利用 HEPA(High Efficiency Particulate Air)过滤装置,保持高洁净度;另外量测设备采用美国 KLA-Tencor SP5 颗粒检测仪 , 具有 DUV 灵敏度和高吞吐量的无图案晶圆表面检测系统,加工与量测设备均处于国际行业领先水平。

 

项目建设过程中,依托 FerroTec(中国)成熟的半导体晶圆技术人才团队为基础,外籍专家团队直接参与设备采购、安装与调试,国内外知名厂商参与设备搬运与二次配工程,每一环节均有高品质掌控。