与非网7月13日讯 半导体设备大厂荷兰商艾司摩尔(ASML)独家供应的极紫外光(EUV)微影设备,成为全球晶圆代工大厂跨入先进制程技术的关键设备,但随著大陆晶圆代工龙头中芯国际遭美制裁,导致EUV机台无法进口至大陆,让大陆先进制程技术发展受制。外媒指出,若完全阻断大陆获得EUV机台的可能性,将严重打击大陆半导体产业发展。

 

川普政府在2019年成功游说荷兰政府阻止向陆企出售该设备,没有任何迹象表明拜登政府会改变立场。乔治城大学安全与新兴技术中心(Center for Security and Emerging Technology)研究分析师Will Hunt表示,该机构判断大陆至少要10年才能自主制造类似的设备,从大陆角度来看,这是非常烦人的问题。

 

ASML耗费多年才开发出EUV机台,并在2017年量产,售价超过1.5亿美元,机台运送需要使用20个货柜、20辆卡车与3架波音747飞机。ASML生产机台的供应链来自日本、美国以及德国的专门零组件与技术,这也足见半导体供应链全球化必须面对的现实。

 

美国如今想砸超过500亿美元发展本土半导体供应链,减少依赖台湾等地的先进制程晶片,降低台海发生战争所带来的供应链断链风险。

 

波士顿谘询集团(BCG)和半导体产业协会(SIA)在今年春季估计,建立本土半导体供应链至少要1兆美元,并使得晶片售价飙高。哈佛大学商学院管理学教授Willy Shih表示,ASML技术「极好地说明了为什麽我们需要全球贸易」。

 

中芯国际2018年跟ASML订购EUV机台,但却在2019年遭到川普政府出手阻挠,导致中芯国际无法取得至关先进制程发展的EUV机台。当时ASML回应,是为了遵守《瓦圣纳协议》,须等待荷兰政府审核出口许可,才能出货中芯国际。

 

虽然失去这笔订单对于ASML影响不大,2017年起推出EUV机台,目前客户已经购买约100台,包括全球晶圆代工台积电、南韩科技大厂三星电子等客户,但其中有15%营收来自出售给大陆的旧型机台。

 

美国国家人工智慧安全委员会(National Security Commission on Artificial Intelligence)今年3月提交给国会与拜登的最终报告提议,对大陆出口管制扩大至ASML的设备,意在限制大陆AI在军事应用的发展。不过,也有专家认为,阻止销售管道会伤到ASML,也不会为美国带来战略利益,希望拜登政府的理性可以获胜。

 

中芯国际今年3月宣布,将与ASML签订12亿美元的订单,主要用来採购深紫外光(DUV)微影设备,期限到今年底,台积电在7奈米制程发展初期,也採用该设备制造晶片,这也成为中芯国际发展先进制程的救命手段之一。此外,大陆半导体生产设备中微半导体曾在2019年推出自主研发的 5奈米刻蚀机,并通过台积电验证,但在华为及中芯国际遭美国禁令影响下,中微半导体也暂停开发计划,甚至遭列美国禁止投资对象清单,但在大陆半导体自主化进程推进下,这也是中芯国际为数不多的选项之一。

 

EUV光刻机是我国芯片“去美化”道路上的一大壁垒,近期国内市场对EUV光刻机三大核心技术的研发,已正式宣告突破。我国在光刻领域的不断破冰,此前泼冷水的ASML也终于说了实话。ASML首席官Peter预言,三年之后中国就将主掌握EUV研发技术,十五年时间,就将拥有极为完善的芯片产业链。事实上这并非“捧杀”,从国内市场在集成电路产业上做的布局来看,ASML预言或将成真。