7月20日,晶盛机电晶体实验室自主研发的国内首台12英寸硬轴直拉硅单晶炉成功生长出首颗12英寸硅单晶。

 

图片来源:晶盛机电

 

据晶盛机电官方消息,这是继2020年8月国内首台8英寸硬轴直拉炉生长出8英寸硅单晶之后,又一次在半导体级硅单晶生长装备上取得的重要技术进展。

 

晶盛机电依托两项国家科技重大02专项课题(“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”),15年专注于半导体硅单晶生长装备研发,相继开发出定拉速控径、液位控制、定放肩、超导磁场拉晶等多项国际领先技术。