CINNO Research产业资讯,日本JSR收购了次世代EUV光刻胶初创企业美国inpria。通过此次收购, JSR扩大了EUV 光刻胶布局。随着半导体精细制程需求而增长的EUV光刻胶市场上,JSR的地位有望进一 步加强。 

 


根据韩媒etnews 报道,JSR宣布收购 inpria 79%的股份。JSR在2017年获得了inpria 21%的股份,通过 此次追加投资完成了inpria 的100%股份持有。收购工作将于10月底结束。inpria的市值为5.14亿美 元。  

 

 

 inpria是开发半导体曝光制程中使用的PR的初创公司。可以画出超精细电路pattern的EUV需要与传统制程不一样的专用光刻胶。因其技术难度高,一直被日本 JSR、TOK、信越等独家生产。 


inpria开发出了比现有的有机物基础EUV 光刻胶光吸收率更高的无机物基础光刻胶,因此在业界备受关 注。三星电子、SK 海力士、TSMC等企业均对inpria进行过投资。 

 

通过此次收购,JSR在EUV光刻胶市场上的影响力将进一步加强。随着JSR将产品领域从有机物光刻胶扩 大到无机物光刻胶,可以应对新一代EUV 光刻胶市场。JSR表示:“,JSR联手inpria将稳固和加强了作为 业界最尖端曝光制程领域的领导者和合作伙伴的地位。收购决定与 JSR对半导体产业的长期战略和经营方针 一致。”