CINNO Research产业资讯,能够大幅度提高设备寿命和稳定性的等离子体显示、半导体制作技术已转移到韩国企业,将推动正式量产设备的开发。

 

5月17日,韩国核聚变能源研究院(院长刘锡才)与AVACO(代表金光贤)签署了“使用ECR等离子体溅射技术”的技术转移合同。推进新一代显示器蒸镀量产设备的开发。

 

ECR(Electron Cyclotron Resonance)是指用微波加热电子的方式,使微波频率与电子的每个频率一样配合,产生共振加热。溅射(Sputtering)是半导体、显示器等领域的薄膜制造过程中用于各种电极蒸镀、OLED氧化膜蒸镀等的物理蒸镀方法。

 

韩国核聚变能源研究院院长刘锡才(左)和AVACO代表金光贤合影留念

 

ECR等离子溅射技术可以分别独立控制目标附近高密度等离子体的发生和电压调节,尽量减少高能粒子对薄膜的损伤。是一种通过薄膜表面加热效果,在低温下蒸镀高品质薄膜的先进技术。

 

就现有技术而言,由于设备结构问题,蒸镀率损失和微波发生装置寿命短、内外真空Chamber的尺寸等因素,在大规模量产上存在局限性。

 

而此次转移的核聚变研究所的“新概念ECR等离子溅射技术”,其工程运行压力可比现有溅射技术低10倍。蒸镀率和粒子的能量也是可调节的,大大改善了装置寿命和稳定性。有望应用于现有装置无法实现的新一代显示薄膜沉蒸镀工艺上。

 

AVACO是尖端产业领域综合装备企业,在溅射技术开发方面已经与核聚变研究院进行了13年的合作。此前,曾2次进行技术转移,成功研制第五代ECR等离子溅射设备。AVACO计划以此次技术转移为基础,在全球率先获得量产技术,推动扩大国内外新一代半导体、显示器制造市场的占有率。

 

技术转移负责人、责任研究员金成峰表示,“此次技术采用新概念技术,大幅提高了此前需要解决的量产性问题,一旦成功实现量产化,韩国企业将跻身于引领新一代显示产业的‘First Mover’阵营,我们期待能够为促进该领域国家竞争力的提升作出贡献。”

 

核聚变研没研究院院长刘锡才表示:“此次技术转移案例,是韩国政府支援机构与大中型企业基于信任,长期持续合作,为产业技术发展做出贡献的最佳实践案例”,并称“今后,今后将努力把研究院的优秀研究成果将扩散到多种产业领域,为国家产业发展做出贡献。”