满天芯消息,5月26日,据韩媒报道,因涉嫌将三星电子旗下芯片制造设备子公司SEMES开发的半导体清洗设备技术出售给中国企业,从中获取数百亿韩元的非法利益,7名员工日前已被移交法院。

 

 

报道称,5月25日,韩国水原地方检察厅宣布,以违反《防止不正当竞争和商业秘密保护法》和《防止泄露和保护工业技术法》为由,起诉包括前SEMES员工在内的7人。此外,作为共犯的两名前 SEMES 研究人员也被起诉,但未被拘留。

 

官方解释说:“这些人涉嫌窃取三星电子子公司SEMES的超临界清洗设备制造技术,这些技术是 2018 年 3 月至去年 12 月开发的。”并补充说,“他们使用该技术制造了 14 台半导体清洗机,并出售至中国获取710亿韩元利益。”

 

其还表示,从SEMES离职后出去创办公司的前员工离职时,未返还数据和信息,且还从SEMES的合作伙伴处取得一些技术资料。最终,包括设计图纸、组件列表、软件在内的技术资料都掌握在他们手中。

 

该团伙盗窃的半导体清洗设备的核心技术是使用超临界二氧化碳(即没有明显液化和气化的二氧化碳)来清洗半导体衬底,以最大限度地在清洗过程中减少对基板的损坏。

 

据报道,在过去五年中,韩国发生了大约 400 起技术泄露事件。依赖其技术优势的巨头公司如三星就经常爆出技术遭泄露的事件。韩国此前称将创建一个芯片工程师数据库来监控他们进出该国的旅行,以阻止外国公司偷猎,并防止关键技术落入外国手中。

 

SEMES:韩国最大半导体设备制造商 SEMES是三星电子旗下的一家半导体设备供应商(三星拥90%以上的Semes的股份),同时也是韩国最大的半导体设备制造商。该公司生产的SUPER CRYSTAL系列清洗机是世界第一台超临界设备,采用无倾斜技术(高萃取/高溶解度),具备高通量和稳定性,能够去除19nm的颗粒。

 

SEMES近期公布,其2021年全年的收入为3.12万亿韩元(约人民币162亿元),营业利润为3533亿韩元。这是该公司迄今为止最好的年度业绩。与2020年相比,收入和营业利润也分别增长了41%和24%,这是其目前最高的年度收益。

 

Semes表示,晶圆厂设备占其2021年收入的75%,而平板显示设备占1.7%。2020年,晶圆厂设备占其年收入的61.24%,而平板显示设备占9.9%。

 

我国清洗设备现状 清洗在芯片制造过程中的重要性不言而喻,其作用是去除前一步工艺中残留的不需要的杂质,为后续工艺做准备。基本上每一轮沉积、光刻、刻蚀之后均需要清洗步骤,清洗的步骤占据整个晶圆制造工艺的 30%,因此清洗的工序数量随着技术节点的精进而增加。 

 

 

来源:东兴证券 

 

全球大部分半导体清洗设备市场份额为海外厂商占领,仅SCREEN、京东电子、SEMES、泛林四家公司就占据超97%的份额。不过,东兴证券指出,清洗设备属于半导体设备相对容易突破的领域,我国企业已经开始进入主流产线,未来会有较快业绩增长。

 

A股半导体清洗设备供应商可关注:

 

盛美股份(A20142.SH/ACMR.O):主要是单片清洗设备,也包括单片槽式混合清洗设备,技术实力较强,具备国际竞争力,前道产品可批量供应海力士、长江存储、中芯国际、华虹等多个一线厂商。

 

 北方华创(002371.SZ):主要是单片和槽式湿法清洗设备,也有干法清洗设备开发,有产品在客户验证。2017年通过收购美国 Akrion 公司清洗技术得到增强。 

 

至纯科技(603690.SH):主要是 8 英寸槽式多片清洗设备,产品进入部分产线。单片湿法清洗设备也有研发,近年技术突破较快,有产品在客户验证。

 

芯源微(688037.SH):涉及前道的主要是单片刷洗设备,有设备在中芯国际验证。公司主要清洗机产品为用于后道先进封装的设备。