作为设计和生产创新性半导体材料的全球领军企业,法国 Soitec 半导体公司正式宣布选用 KLA 公司(纳斯达克股票代码:KLAC)的检测技术,实现碳化硅 (SiC) 器件的高良率。KLA 公司是工艺控制和先进检测系统领域的领军企业。

 

Soitec 利用其独特的专利技术 SmartSiC™ 生产碳化硅优化衬底,助力提升电力电子设备的性能以及电动汽车的能效。

 

Soitec 采用 KLA 检测设备为 SOI 晶圆取得了卓越的成果。基于此,Soitec 进一步拓展与 KLA 的合作,在其 SmartSiC™ 晶圆上采用了 KLA 的 Surfscan® SP A2 无图案晶圆检测系统。

 

Soitec 的 SmartSiC™ 晶圆具备了卓越且独特的晶体质量,而 KLA 的 Surfscan® SP A2 检测系统可利用 DUV 光学和先进算法,进一步提升对衬底的质量控制。这种合作伙伴关系将使 SiC 衬底生产达到新的甚至更高的水平,助推行业发展,加速高质量碳化硅在汽车市场的应用。

 

2022 年 3 月,Soitec 宣布在法国贝宁总部建设新的贝宁 4 号晶圆厂,主要用于生产 150mm 和 200mm 的 SmartSiC™ 晶圆。贝宁 4 厂预计将于 2023 年下半年投入运营。

 

Soitec 首席技术官 Christophe Maleville 表示:“将我们独特的 SmartSiC™ 优化衬底与 KLA 的检测和计量系统相结合,可以使 Soitec 的衬底质量优化至新的高度,提升客户生产的良率。KLA 的检测系统与我们最重要的 SOI 技术结合,发挥出巨大的潜力。现在,我们这一创新的结果拓展,与我们为汽车赋能的创新技术 SmartSiC™ 结合。这将助力我们提升生产效率,满足电动汽车市场不断增长的需求,为客户提供更多附加值。”

 

KLA 的 Surfscan、ADE 和 ECI 部门经理 Jijen Vazhaeparambil 表示:“KLA 高度重视与客户的合作和对研发的投入。因为从中我们能够获得相关的专业知识及技术,从而准时高效地交付客户所需的工艺控制解决方案。通过与 Soitec 的密切合作,我们世界一流的 Surfscan 检测技术被成功地应用在了宽禁带衬底领域。Surfscan® SP A2 系统可提供 Soitec 所需的灵敏度和产能,将帮助 Soitec 进一步提升其碳化硅和其他宽禁带衬底的质量,满足更严苛的要求。” 

 

Surfscan® 是 KLA 公司的注册商标。