近日,浙江嘉兴南湖高新区微电子产业又添一员“猛将”,由半导体行业资深人士张汝京博士负责,总投资30亿元的光罩材料产业链项目正式签约落地嘉兴科技城(南湖高新区)。

 

项目计划于今年9月启动,2023年4月第一条生产线试生产,2024年1月正式投产,2026年1月达产。

 

01、张汝京二投光罩厂

 

据“南湖晚报”报道,该项目总投资30亿元,首期投资11亿元,将落户于南湖高新区集成电路产业园。

 

项目主要从事光罩材料产业链相关产品的研发制造,产品包括高平整度石英基板、镀膜基板(含二元及相位移的)、保护膜等光罩产业链上游“卡脖子”的原材料。

 

值得一提的是,这并非张汝京建设的首座光罩厂。2018年,由张汝京博士主导了青岛芯恩集成电路产业项目。

 

据悉,该项目总投资约150亿元,其中一期总投资约78亿元,新建8英寸和12英寸集成电路生产线,光掩膜版生产线,芯片测试厂。2021年8月,青岛芯恩正式宣布8英寸厂投片成功,光罩厂也于同期完成了产品交付。

 

02、光罩市场集中度高

 

光罩也称为光掩模版,主要应用于平板显示、半导体、触控和电路板的制造过程,在IC制造过程中,其作用是将设计好的电路进行显影,将图形投影在晶圆上,利用光刻技术进行蚀刻,是半导体光刻工艺中所需的高精密工具。

 

当前,在5G、人工智能、物联网等产业快速壮大的拉动下,全球半导体市场蓬勃发展,光罩作为芯片的关键原材料,市场需求正不断上升。

 

从全球范围来看,目前掩膜版行业主要系国际厂商,有日本的SKE、HOYA、DNP、Toppan、韩国的LG-IT、美国的福尼克斯、中国台湾的台湾光罩等,行业集中度高。

 

总体来看,由于行业技术门槛较高,且国内产业起步较晚,掩膜版行业已经形成了美日韩企业垄断的市场格局,国内光罩材料产业链部分产品依赖进口。

 

03、解决半导体材料“卡脖子”问题

 

尽管目前我国国产半导体芯片掩膜版制造能力还较为薄弱,掩膜版仍依赖海外生产商。但近年来,随着平板显示、半导体、触控等产业的快速发展,产业链进口替代浪潮呼声越来越高,国内掩膜版厂商以此为契机发展迅速。

 

当前,国内规模型光罩厂主要以两种形式存在,一是以中芯国际和华润微为代表的半导体厂自建的光罩厂,二是以路维光电、清溢光电和中微掩模等为代表的独立光罩厂。

 

例如,中芯国际曾在招股书中提到,公司拥有目前中国大陆最大、最先进的光掩模制造设施,可生产0.35微米到14纳米各技术节点的光掩模产品;华润微电子旗下负责掩模制造的企业无锡迪思微电子可为客户提供Frame、IP Merge、OPC等专项服务,能生产二元光罩、移相光罩、灰阶光罩等产品。

 

独立光罩厂方面,清溢光电和路维光电的均已成功登陆A股市场;而中微掩模则可提供0.35~0.13μm,5英寸、6英寸二元光罩和6英寸相移光罩。

 

张汝京表示,光罩材料产业链项目旨在成为国内光罩上游材料龙头,解决国内半导体材料“卡脖子”问题。