MEMS的加速度计/陀螺仪的原理详解-北京大学讲义
[摘要]

资料主要内容:MEMS 器件的基本特点——按比例缩小、MEMS传感器性能要求、不同传感方式的原理、惯性MEMS期间原理与设计。

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上传时间:2019/03/14