CMOS-MEMS面临的挑战和未来发展趋势分析
[摘要]
今天的微机电系统(MEMS)与硅集成电路(IC)的构建方式大致相同,借鉴了IC行业的各种材料和工艺。 因此,这并不奇怪。从三十多年前的MEMS早期开始,研究人员就已经开始将微电子机械设备与双极或CMOS电路相结合。 CMOS集成MEMS领域或简称CMOS-MEMS领域的研究和开发工作面临的挑战,成就和前景是本书的主题。 CMOS技术和微机械加工技术结合起来制造了广泛的微系统,范围从物理传感器,例如压力和惯性传感器,到化学和生化传感系统。
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上传时间:2019/03/14