一种有效缩短RF MEMS开关释放时间的办法
[摘要]

针对 RF MEMS开关释放时间过长的问题,提出了一种电压控制方法有效地缩短了开关
的释放时间,提高了开关的速度。这种方法无需修改器件设计,仅需要调整偏置电压变化形式,
用线性压降替代传统的阶跃压降,就能有效抑制 MEMS梁在释放过程中的振动。给出了这种方
法的相关理论、等效模型及仿真结果。由 ANSYS仿真结果可知,在标准大气压下,采用28μs
单段线性压降后,梁的释放时间从103μs缩短到62.5μs;采用26μs双段线性压降后,梁的释
放时间进一步缩短到26μs,仅为原来的1/4,即开关速度约为原来的4倍。

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上传时间:2019/03/14