最全的MEMS行业研究报告
上传时间:2019/03/15 资源大小:869.71KB
[摘要] MEMS 是英文 Micro Electro Mechanical Systems 的缩写,即微电子机械系统,是利用微米/纳米技术基础,对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的 21 世纪前沿技术。它将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元,不仅能够采集、处理与发送
MEMS惯性传感器的设计守则
上传时间:2019/03/14 资源大小:5.12MB
[摘要] 这个全面而严格的指南是对MEMS的惯性传感器的设计而言的,本书着重于MEMS的制造和测试、实用和系统概述,向您展示如何分析和转换应用需求到实际设计,并帮助您避免潜在的陷阱并缩短设计时间。 通过本书,您很快就能掌握相关的基础知识,包括MEMS技术,封装,运动学和力学以及传感器。您还可以对设计的不
CMOS-MEMS惯性传感器的原理和应用
上传时间:2019/03/14 资源大小:2.56MB
[摘要] 资料介绍 主要内容:MEMS和CMOS-MEMS技术、薄膜CMOS-MEMS、DRIE CMOS-MEMS、流程开发和改进、集成CMOS-MEMS惯性传感器、MEMS惯性传感器:应用。  
CMOS-MEMS面临的挑战和未来发展趋势分析
上传时间:2019/03/14 资源大小:6.63MB
[摘要] 今天的微机电系统(MEMS)与硅集成电路(IC)的构建方式大致相同,借鉴了IC行业的各种材料和工艺。 因此,这并不奇怪。从三十多年前的MEMS早期开始,研究人员就已经开始将微电子机械设备与双极或CMOS电路相结合。 CMOS集成MEMS领域或简称CMOS-MEMS领域的研究和开发工作面临的挑战
双芯片双采样积分器电路的MEMS电路设计
上传时间:2019/03/14 资源大小:11.24MB
[摘要] 与先前提出的接口电路相比,所提出的三阶噪声整形加速度计接口电路增强了信噪比。 介绍了双芯片实现的解决方案,提出了一种新型的交叉耦合相关双采样积分器。 即使在传感器和接口电路之间存在大的寄生电容,该方案也起作用。 运算放大器噪声是首先形成的。 抖动电路也在芯片上实现,采用1.6μmCMOS
MEMS的加速度计/陀螺仪的原理详解-北京大学讲义
上传时间:2019/03/14 资源大小:5.83MB
[摘要] 资料主要内容:MEMS 器件的基本特点——按比例缩小、MEMS传感器性能要求、不同传感方式的原理、惯性MEMS期间原理与设计。
在MEMS芯片上设计微电话阵列用于气动声学测量的教程
上传时间:2019/03/14 资源大小:3.07MB
[摘要] 我们已经开发出了基于微机电系统的芯片上的微电话阵列并应用于气动声学测量。该阵列设计用于测量湍流边界层(TBL)下存在的波动压力。每个芯片尺寸为1平方厘米,包含64个可单独寻址的电容式感应麦克风,中心间距为鈭鈭5mm。包括封装在内的表面拓扑结构保持小于0.13 mm。从最小到最敏感,阵列中的元件
详解MEMS振动陀螺仪
上传时间:2019/03/14 资源大小:13.68MB
[摘要] 微电子系统(MEMS)技术以微观尺度融合电气和机械系统,彻底改变了惯性传感器。自1991年Draper实验室首次对微机械陀螺仪进行演示以来,已经有了在表面微机械加工微机械加工,混合表面 - 体粒加工技术或替代制造技术中制造的各种微机械陀螺仪设计。受到同一时代微机械加速度计取得巨大成功的启发,广
基于CMOS-MEMS技术的三轴加速度计设计
上传时间:2019/03/14 资源大小:5.16MB
[摘要] 这项研究提出了一个单一的质量块CMOS-MEMS加速度计,带有集成的三轴传感电极阵列。 本研究采用平面指型和平面外板式间隙闭合传感电极。 采用标准TSMC 0.35Pm 2P4M CMOS工艺和内部后CMOS工艺实现器件。 电容面内和面外传感间隙可以通过CMOS工艺的最小线宽和厚度来定义。 结
ToF(飞行时间)原理详解
上传时间:2019/03/13 资源大小:9.9MB
[摘要] 可以使用不同类型的传感器和测量技术来记录被测对象或场景的3D信息。 非接触式测量技术可以估算目标距离,利用微波,超声波或光波[1,2]。 然而,只有后一种技术才能实现良好的角分辨率性能,在紧凑的测量设置中,如3D成像系统所需[3]。 在通常的实践中,获取物体几何的两种方法是:(i)被动,通过使