横跨多重电子应用领域的全球领先的半导体供应商、MEMS(微机电系统)技术的世界领导者意法半导体(STMicroelectronics,简称 ST;纽约证券交易所代码:STM)于日前宣布,与新加坡 A * STAR IME 研究所和日本领先的制造工具供应商 ULVAC 合作,在意法半导体新加坡晶圆厂内联合创办一条以压电式 MEMS 技术为重点研究方向的 8 英寸(200mm)晶圆研发生产线。这个全球首创的“Lab-in-Fab”研发生产线整合三个合作方在压电材料、压电式 MEMS 技术和晶圆制造工具领域的领先技术和优势互补的研发能力,促进新材料和工艺技术创新发展,最终加快企业客户的产品开发。

 

Lab-in-Fab 实验室包括意法半导体在宏茂桥工业园区内的一个新建洁净室区,将配备三个合作方提供的工具设备和专用资源,为 MEMS 研发制程科学家和工程师提供工作场所。IME 微电子在压电式 MEMS 器件设计、工艺集成和系统集成方面的知识库和产业驱动力将为研发生产线的发展提供积极的增值作用。IME 还将提供最先进的工具设备,确保科技创新成果顺利转化为产品,全部过程都在同一地点完成。新研发生产线还将利用意法半导体现有资源,发挥在同一园区内的 ST 晶圆厂的规模经济优势。预计“Lab-in-Fab”设施将在 2021 年第二季度建成启用并产出首批晶圆,在 2022 年底实现量产。

 

意法半导体模拟器件、MEMS 和传感器(AMS)产品部总裁 Benedetto Vigna 表示: “我们与 IME 和 ULVAC 此前已有过较长的合作经验,这次新合作旨在共同创办世界领先的压电式 MEMS 材料、技术和产品研发中心。这个全球首创实验室将设在意法半导体的战略要地新加坡工厂。Lab-in-Fab 将让我们的客户能够轻松完成从概念可行性研究到产品量产的转化过程。”

 

此次合作可增强意法半导体新加坡公司现有的制造工艺组合,并加快前景广阔的新应用领域采用压电式 MEMS 执行器,新兴应用包括智能眼镜、AR 头戴设备和激光雷达系统使用的 MEMS 微镜;新兴医疗设备使用的压电微机械超声波换能器(PMUT),以及商用和工业用 3D 打印机的压电式打印头。

 

IME 执行院长 Dim-Lee Kwong 教授表示: “IME、ST 和 ULVAC 之间的公私合作项目构建了一个独特的研发生产线,这个生产线将采用压电材料开发创新产品,增强合作伙伴的竞争力。这些努力将会让高价值的研发活动继续扎根于新加坡,并证明新加坡仍是行业龙头开展技术创新和发展业务的首选地区。A * STAR 将致力于帮助本地中小企业开发、利用我们的技术。我们欢迎企业与 IME 合作,并利用我们的 Lab-in -Fab 实验室设施做概念验证。”

 

ULVAC 执行官、高级研究员 Koukou SUU 博士表示:“我们很高兴成为 ST 和 IME 的“Lab-in-Fab”合作伙伴,为众多前景广阔的未来应用开发先进的压电式 MEMS 产品,这也充分证明了 ULVAC 在压电 MEMS 制造技术解决方案市场上的领先地位。我们期待与合作伙伴密切合作,使合作圆满成功。”