中芯国际(SMIC)已订购一套极紫外光刻(EUV)设备,这是目前最昂贵和最先进的芯片生产工具。据悉,这套 EUV 光刻设备向荷兰芯片设备制造商 ASML 购买,价值 1.2 亿美元。

 
根据最新的消息显示,日前长江存储也迎来了自己的首台光刻机,5 月 19 日,光刻机已运抵武汉天河机场,设备相关的海关、商检及边防口岸的相关手续办理完成后,即可运至长江存储的工厂。
 
据悉,长江存储的首台光刻机同样来自 ASML,为 193nm 浸润式光刻机,售价 7200 万美元,约人民币 4.6 亿元,用于 14nm~20nm 工艺。这也从侧面透露了长江存储 3D NAND 闪存芯片的工艺制程。
 
来自长江存储的官方消息,4 月 11 日,国家存储器基地项目芯片生产机台正式进场安装,这标志着国家存储器基地从厂房建设阶段进入量产准备阶段,中国首批拥有完全自主知识产权的 32 层三维 NAND 闪存芯片将于年内量产。
 
 
据悉,国家存储器基地于去年成功研发中国首颗 32 层三维 NAND 闪存芯片,这颗耗资 10 亿美元、由 1000 人团队历时 2 年自主研发的芯片,是我国在制造工艺上最接近国际高端水平的主流芯片。
 
关于长江存储:
受到紫光集团,国家集成电路产业投资基金,湖北地方集成电路基金,湖北科投共计 240 亿美元战略投资,长江存储科技有限责任公司于 2016 年 7 月正式成立。长江存储科技有限责任公司(长江存储)是一家集芯片设计、工艺研发、晶圆生产与测试、销售服务于一体的半导体存储器企业。
 
关于 ASML:
ASML 是总部设在荷兰 Veldhoven 的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。
 
ASML 为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN 系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向 ASML 采购 TWINSCAN 机型,例如英特尔(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),台积电(TSMC),中芯国际(SMIC)等。