CINNO Research 产业资讯,美国纽约州 Plainview 市的外延沉积和工艺设备制造商 Veeco Instruments Inc. 近日表示,其 Propel 300 HVM 金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统已被法国格勒诺布尔的 Aledia(3D 开发和制造商)选用。结合其专有的氮化硅纳米线技术,Aledia 可以基于上述 MOCVD 系统生产高分辨率的 Micro-LED 显示面板。另据 Aledia 称,Propel 系统具有设备半兼容的前端模块(EFEM)和盒对盒(cassette-to-cassette)自动控制功能,与其他竞争系统相比,其生产效率最高,缺陷率最低,这也是它被选中的原因。

 

 

Veeco 的 Propel 300 HVM MOCVD 系统根据外媒 semiconductor-today 报道,“亮度,对比度,响应时间和功率效率等参数对智能手表,移动设备,AR / VR(增强现实 / 虚拟现实)应用和大型电视用显示面板非常重要,这些参数正在推动市场对 Micro-LED 解决方案需求的增加,”Aledia 首席运营官 Francis 指出,“作为我们记录工艺过程的工具,我们相信 Veeco 的 Propel 300 HVM 平台具有独特的优势,它可以在实现目前世界最大产量的同时提供出色的过程管控功能,再者,他们支持产品创新的履历也是我们选择其产品的理由。”由于具有更高的分辨率,亮度和可靠性,Micro-LED 正在成为下一代显示技术。市场研究公司 TrendForce 预计,Micro-LED 晶圆的产量将从 2021 年的 74,000 个晶片增加到 2024 年的 500 万个以上。

 

Veeco 首席营销官 Scott Kroeger 表示:“我们很高兴再次被先进显示技术的真正先驱 Aledia 选中,进而可以提供业界首款 300mm MOCVD 工具来支持其 micro-LED 显示面板的生产。”“Veeco 一直都致力于将化合物半导体的专业知识与半导体规模制造相结合,这一点在具有 EFEM 功能的 300mm 晶圆系统平台上得到了充分的体现,”他补充说,“与 Aledia 等领先公司的紧密合作,进而在生产规模上提供更好的解决方案,这一点已经嵌入了我们的 DNA 中。”Veeco 表示,其单晶圆 Propel 300 HVM GaN MOCVD 系统是一种为 GaN 基高级显示器、功率电源、RF 和光子学设备设计的,大批量生产的单晶圆反应器集群系统。该系统具有单晶圆反应器平台,它能够在 300mm 晶圆基础上提供高质量的外延膜性能,这一点可以帮助制造商获得最佳的均匀性,可重复性和良率。另外,Propel 300 HVM 还可配置模块化群集室(Cluster Chambers),以实现最大的生产率和灵活性。