CINNO Research 产业资讯,住友重机械工业于 10 月 27 日宣称,要新建工厂用于生产半导体制程中使用的离子注入设备(如下图 1)。随着第五代移动通信(5G)、人工智能(AI)的普及,半导体市场不断扩大,因此,住友重机械工业计划在当前设备的基础上将产能扩大两倍。总投资额约为 110 亿日元(约人民币 6.6 亿元),目标在 2022 年 8 月正式稼动。

 

新工厂建在旗下子公司住友重机械离子科技(Ion Technology,东京都品川区,简称 SMIT)持有的爱媛县西条市工厂的邻接地,旨在扩大业务、提高生产和物流效率。建筑面积约为 3 万 5700 平方米。计划在 2021 年 3 月开始动工。

 

SMIT 2020 年 3 月期(2019 年 4 月 -2020 年 3 月)销售额约为 320 亿日元(约人民币 19.2 亿元)。离子注入设备的作用是向硅晶圆注入加速离子。随着智能手机、电动汽车(EV)等需求增长,预计图像传感器市场也会出现增长,因此离子注入设备的订单也会随之增加。

 

新工厂概要:

1. 所在地:爱媛县西条市今在家 1501

2. 投资总额:约 110 亿日元

3. 产能:现在产能的 2 倍(包括现有设备)

4. 占地面积:17,686㎡

5. 建筑面积:35,692㎡

6. 日程:计划动工时间:2021 年 3 月

7. 计划竣工时间:2022 年 7 月

 

SMIT 概要

1. 业务概要:离子注入设备的研发、生产和销售,以及相关服务

2. 工厂所在地:爱媛县西条市今在家 1501

3. 成立时间:1983 年 4 月

4. 注册资本:4 亿 8000 万日元

5. 销售额:约 320 亿日元(2019 年度)

6. 员工数:448 人

 

关于离子注入设备

离子注入设备,是向半导体元件构造材料硅晶圆注入加速离子的设备。对电脑、智能手机、汽车等各种电器设备中所搭载的半导体生产极其重要。

 

 

图 1:All-in-One 型离子注入机 SAion®(图片来源:住友重机械工业官网)