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国内大硅片生产布局调研整理

2019/07/24
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2019 年 6 月,芯思想发布了《2019 年中国 FAB 情况跟踪调查中期盘点》(请点击 2019 年中国 FAB 情况跟踪调查中期盘点阅读),有朋友提出要对国内大硅片进行整理。今天特别推出《2019 年中国大尺寸硅片布局情况中期汇总》。
 
目前国内 12 英寸晶圆几乎全部靠进口,国内的 12 英寸硅片月生产量约 5 万片。由于晶圆厂建好后,可能要面临无米下锅的局面。为了弥补半导体硅晶圆的供应缺口,降低进口仰赖程度,我国正积极迈向 8 英寸与 12 英寸硅片生产,多项重大投资正在启动中,大都锁定 12 英寸硅晶圆,当然 8 英寸项目也不少。
 
芯思想研究院对国内的大硅片生产布局进行了调研整理。
 
 
芯思想研究院调研发现,目前宣布的 12 英寸硅片项目多达 20 个,根据各家公司公布情况来看,总投资金额超过 1400 亿,12 英寸硅片总规划月产能到 2023 年前后合计超过 650 万片,如果加上天芯硅片、中芯环球、济南项目,12 英寸硅片总规划月产能将可能高达 800 万片,约是 2018 年全球 12 英寸硅片月需求的 2 倍。
 
 
目前,国产硅片供应商主要是集中在供应 8 英寸及以下硅片,无法满足主流需求。国内大硅片牢牢掌控在海外厂家手中,这对国内半导体产业国产化而言始终是一大隐患。因此,推动半导体产业发展,上游材料端必须与之配套加快国产化进程。2016 年《中国集成电路产业“十三五”发展规划建议》中提出,在材料领域,力争到 2020 年关键材料产业化技术水平达到 40-28nm 工艺要求,实现产业化,部分专业领域推进到 20-14nm,培育 2-3 家材料企业成为全球知名品牌。
 
中国大陆多个 12 英寸大硅片项目开工建设,将引发人才抢夺大战。全球 12 英寸大硅片人才本就缺乏,如何做好人才引智工作将是考验各个项目成败的关键。
 
大硅片项目情况
1、硅产业集团
1.1 上海新昇半导体科技有限公司
 
上海新昇半导体科技有限公司(上海新昇)成立于 2014 年 6 月,致力于在我国研究、开发适用于尖端工艺节点的 12 英寸硅单晶生长、硅片加工、外延片制备、硅片分析检测等硅片产业化成套量产工艺,建设 12 英寸半导体硅片的生产基地,实现 12 英寸半导体硅片的国产化。
 
项目总投资 68 亿元,其中一期总投资 23 亿元,专注 40-28nm 工艺节点的 12 英寸硅单晶生长、硅片加工、外延片制备。
 
2016 年 10 月成功拉出第一根 12 英寸单晶硅锭。
 
2017 年打通 12 英寸硅片全工艺流程,从 2017 年第二季度已经开始向中芯国际芯片代工企业提供 40-28nm 工艺节点 12 英寸硅片样片进行认证,并有挡片、陪片、测试片等产品持续销售,正式出货并实现小批量销售。
 
2018 年实现了 12 英寸硅片的规模化生产;一季度末,通过上海华力微电子有限公司的认证并开始销售。2018 年实现收入超过 2 亿元。在第一期月产能 10 万硅片产能建设完成的同时,启动第二个月产能 10 万硅片产能的建设。
 
目前正在研发 20-14nm 工艺节点 12 英寸硅片,规划建设月产能达 5 万片 20-14nm 工艺节点 12 英寸硅片生产线。
 
预估 2019 年实现月产能 20 万片,2020 年底实现月产能 30 万片,最终将形成月产 60 万片 12 英寸硅片的产能。未来甚至可能高达月产 100 万片规模。
 
1.2 新傲科技
 
2016 年,新傲科技宣布首个采用 Soitec 专有 Smart Cut 技术制作的 200mm SOI 晶圆在上海生产成功,经过扩产,目前年产能已达 18 万片。
 
为了更好地服务全球市场对 RF-SOI 和 Power-SOI 产品的增长性需求,2019 年 2 月,新傲科技宣布扩大 200mm SOI 晶圆年产量,从年产 18 万片增加至 36 万片。
 
同时,新傲科技还在规划 12 英寸 SOI 生产线,为未来毫米波射频器件和 FD-SOI 做好准备。
 
2、超硅半导体
2.1 上海超硅半导体有限公司
 
2018 年 7 月 30 日,上海超硅半导体有限公司 12 英寸全自动智能化生产线项目开工建设。该项目一期投资 60 亿元,建设周期为 1.5 年,预计 2019 年 9 月设备搬入,2019 年 12 月产品下线。
 
总投资预计达到 100 亿元。据悉,还将建设 18 英寸中试生产线,项目建成后将形成年产 360 万片 12 英寸硅片和外延片以及 12 万片 18 英寸抛片生产能力。
 
另外上海超硅半导体有限公司持有重庆超硅半导体有限公司 7.35%、成都超硅半导体有限公司 5%的股份。
 
2.2 重庆超硅半导体有限公司
 
重庆超硅项目总投资 50 亿元,分三期建设,三期建设完成达产后将实现月产 50 万片 8 英寸硅片和月产 5 万片 12 英寸硅片的产能。
 
一期项目投资 20 亿元,主要生产极大规模集成电路用 8 英寸 /12 英寸单晶硅晶体生长、硅片抛光及其延伸产品,建设年产 180 万片硅片的产能。
 
一期项目于 2014 年 5 月开工,2016 年 4 月投入试生产;2016 年 5 月第一根集成电路级 8 英寸单晶硅棒成功拉出;2016 年 9 月第一根集成电路级 12 英寸单晶硅棒成功拉出;2016 年 10 月 28 日 第一批集成电路级单晶硅晶体生长和抛光片顺利下线;2016 年底成功实现 8 英寸硅片加工整线试生产、12 英寸晶体生长,同时启动了 12 英寸硅片加工生产线建设;2017 年 1 月 20 日第一批 8 英寸硅片产品出厂发货;2018 年 3 月,在 SEMICON CHINA2018 上展示了国内第一根 18 英寸集成电路用单晶硅棒。至此,公司已经完成 8 英寸、12 英寸、18 英寸单晶硅棒的拉制工作。
 
重庆超硅的 8 英寸硅片已经供不应求,2018 年安装多套关键设备,2018 年底月产能超过 10 万片;12 英寸硅片目前已经在厂商验证,2018 年底形成 25000 片的产能。
 
2.3 成都超硅半导体有限公司
 
2017 年 8 月云南城投集团与邛崃市人民政府签署《成都超硅半导体生产基地项目》协议,协议中商定将在邛崃市建设超硅半导体生产基地。
 
项目总投资 50 亿元,主要建设两条 12 英寸晶圆生产线。,项目达产后,可实现月产 50 万片 12 英寸硅片的产能。
 
项目于 2018 年 3 月 31 日举行开工典礼,还没有进行实质建设。
 
3、中环半导体
中环股份的 8-12 英寸大硅片项目,晶体生长环节在内蒙古呼和浩特,抛光片环节在天津和江苏宜兴。
 
3.1 天津中环领先材料技术有限公司
 
中环领先的 8 英寸半导体区熔硅片实现量产,产能已陆续释放,进一步确立了公司在区熔抛光片市场的地位。2018 年未公司 8 英寸抛光片月产能已达到 30 万片,年产量为 3.8 亿平方英寸;8 寸区熔单晶硅片主要是满足 IGBT 器件领域。
 
12 英寸抛光片试验线实现月产能 2 万片,是中国大陆第一家、全球第三家做 12 英寸功率硅片的工厂,目前有约 10 家客户在认证。
 
3.2 中环领先半导体材料有限公司
 
2017 年 10 月 12 日,中环股份、晶盛机电、无锡市政府签署战略合作协议,三方或以产业基金形式确定项目投资主体,共同在无锡宜兴启动建设集成电路用大硅片生产与制造项目。2019 年中环领先集成电路用大硅片项目入选江苏省级重大产业项目。
 
中环领先集成电路项目,总投资约 30 亿美元,分两期实施,由三方共同出资:天津中环半导体股份有限公司和中环香港控股有限公司合计出资 60%,无锡产业发展集团旗下锡投产业(香港)有限公司出资 30%,浙江晶盛机电股份有限公司出资 10%。
 
2017 年 12 月 14 日注册成立项目公司 -- 中环领先半导体材料有限公司(中环领先)。
 
2017 年 12 月 28 日,项目一期开工建设,投资 15 亿美元,其中装备投入 60 亿元,建设两条 8 英寸生产线,月产能 75 万片;一条 12 英寸试验线,月产能 2 万片;一条 12 英寸生产线,月产能 15 万片。
 
项目一期于 2019 年 2 月进行试生产 8 英寸硅片,7 月将进行规模化投产;12 英寸功率硅片生产线将在 2019 年下半年进行设备安装调试。
 
项目二期将于 2020 年开工建设,投资 15 亿美元,建设两条 12 英寸生产线,月产能 35 万片。
 
整个项目投产以后将实现年产 8 英寸抛光片 900 万片和 12 英寸抛光片 600 万片的产能。
 
4、立昂微电子
4.1 浙江金瑞泓科技股份有限公司
 
浙江金瑞泓科技股份有限公司是一家致力于半导体材料研发与生产的高新技术企业,是 8 具有硅单晶锭、硅研磨片、硅抛光片、硅外延片、芯片制造的完整产业链的半导体企业。拥有完备的 4 英寸、5 英寸、6 英寸及 8 英寸硅片产品结构,形成了集成电路与分立器件、轻掺杂与重掺杂、抛光片与外延片并重的特色。硅片年产能达到近 800 万片,可以生产 5000 多种技术规格的硅片产品。
 
2010 年,牵头承担“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项,并于 2017 年 5 月通过国家验收,具备了 8 英寸硅片月产 12 万片的大规模产业化能力,掌握了 12 英寸硅片核心技术。
 
2009 年公司率先打破我国 8 英寸硅片全部依赖进口的局面,实现 8 英寸硅片正式销售。拥有减压充氮直拉硅单晶、微量掺锗直拉硅单晶及重掺磷、硼、锑、砷硅单晶成套技术等数项具有自主知识产权的核心技术及独特的技术诀窍。
 
公司是 ONSEMI(安森美)、AOS(万代)、TOSHIBA(东芝)、NXP(恩智普)等国际知名半导体公司的稳定供应商,也是中芯国际、华虹宏力、华润上华、中航微电子、杭州士兰微等国内主要半导体企业的重要供应商。
 
4.2 金瑞泓科技(衢州)有限公司
 
金瑞泓科技(衢州)有限公司项目规划总投资 50 亿元,建成月产 40 万片 8 英寸硅片和月产 10 万片 12 英寸硅片的项目规模。
 
项目计划分三期逐步实施。一期总投资约 7 亿元,建设周期为 2017 年至 2019 年,用地 100 亩,计划 2017 年建成月产 10 万片 8 英寸硅外延片项目;二三期项目总投资 43 亿元,用地 120 亩,将形成月产 30 万片 8 英寸硅片项目生产线和月产 10 万片 12 英寸硅片项目生产线,填补国内 12 英寸硅片生产线的空白。
 
2017 年一期项目主体厂房已经建成,8 英寸硅外延生产线在 2018 年 4 月建成投产并实现批量销售,8 英寸的单晶、切、磨、抛厂房将在 2019 年三季度建成投产,届时将全线拉通 8 英寸硅单晶、硅抛光片、硅外延片生产线。
 
4.3 金瑞泓微电子(衢州)有限公司
 
2018 年 5 月 30 日,由杭州立昂微电子股份有限公司投资 83 亿元、年产 360 万片集成电路用 12 英寸硅片项目正式签约。
 
2018 年 9 月 19 日,项目承担单位金瑞泓微电子(衢州)有限公司成立,并引入上游多晶硅企业青海黄河上游水电开发有限责任公司作为股东。
 
项目一期投资 35 亿元,租用金瑞泓科技(衢州)有限公司约 70 亩土地及地面约 4 万平方米左右厂房,建设年产 180 万片集成电路用 12 英寸硅片项目。二期投资 48 亿元,建设年产 180 万片集成电路用 12 英寸硅片项目。
 
2019 年 7 月 2 日,首根 12 英寸半导体级硅单晶棒顺利出炉。
 
5、山东有研半导体材料有限公司
2018 年 7 月 26 日,山东有研半导体材料有限公司落户德州,是有研半导体材料有限公司投资的大硅片项目。项目已经入选 2019 年山东省重点建设项目名单和山东省新旧动能转换重大项目库。
 
项目总投资 80 亿元,分两期进行建设。
 
一期建设项目总投资 18 亿元,分为两大部分,一是搬迁北京的旧产线(包括 8 英寸、6 英寸产线),二是新上一条年产 180 万片 8 英寸硅片生产线。
 
一期项目于 2019 年 3 月开工,目前正在进行桩基施工,计划 2020 年底投产。项目全部达产后,可年产 8 英寸硅片 276 万片、6 英寸硅片 180 万片、大直径硅单晶 300 吨。
 
二期项目计划投资 62 亿元,建设年产 360 万片 12 英寸硅片,将于明年初开工,2021 年底建成投产。
 
6、申和热磁
6.1 杭州中芯晶圆半导体股份有限公司
 
杭州中芯晶圆半导体股份有限公司成立于 2017 年 9 月 28 日,由于上海申和热磁电子有限公司、杭州大和热磁电子有限公司、株式会社フェローテックホールディングス联合成立。
 
2017 年 12 月 18 日,项目正式开工,一期项目包括三条 8 英寸、两条 12 英寸(300mm)半导体硅片生产线。建设月产 35 万片 8 英寸硅片项目和月产 20 万片 12 英寸硅片项目,总投资 60 亿元。
 
2018 年 5 月 28 日,中建一局建设发展公司中标杭州中芯晶圆半导体股份有限公司半导体大硅片项目施工总承包工程。该项目位于杭州市萧山区大江东产业集聚区,厂区建筑物占地面积约 5.7 万平方米,建筑总面积约为 17.8 万平方米,其中包括 1#生产调度厂房(FAB)、2#切磨抛厂房 1(FAB1)、3#切磨抛厂房 2(FAB2)、4#动力站及废水站(CUB)和其他附属栋建筑。
 
2019 年 6 月试投产,首批 8 英寸硅抛光片顺利下线。
 
6.2 宁夏银和半导体科技有限公司
 
宁夏银和半导体科技有限公司成立于 2015 年 12 月 14 日,是杭州中芯晶圆半导体股份有限公司的全资子公司。
 
2016 年 4 月 12 日,宁夏银和半导体科技有限公司开工,项目总投资 31 亿元。
 
2017 年 7 月 6 日,一期项目年产 180 万片 8 英寸硅片项目正式竣工投产。
 
2018 年 3 月 18 日,总投资 60 亿元的二期项目开工,项目建成后,可年产 420 万片 8 英寸硅片和年产 240 万片 12 英寸硅片。
 
7、郑州合晶硅材料有限公司
郑州合晶硅材料有限公司成立于 2017 年 2 月 23 日,是上海合晶硅材料有限公司的全资子公司。
 
郑州合晶项目计划总投资 57 亿元。项目共分两期实施,一期投资 12 亿元,建设满足月产能 20 万片 8 英寸硅片,二期投资 45 亿元,建设满足产能为月产 20 万片 12 英寸硅片和月产外延片 7 万片。 
 
一期于 2017 年 7 月 27 日开工建设,2018 年 6 月 25 日完成首根 200 毫米单晶硅棒的拉制,2018 年 10 月 26 日一期 200 毫米硅单晶生产线的全面竣工投产。
 
注:由于中国台湾合晶股份都还没有能力生产 12 英寸硅片,估计二期的 12 英寸的路还很漫长。
 
8、安徽易芯半导体有限公司
易芯半导体通过多年的自主研发,成功开发出我国第一台 12 英寸半导体级单晶硅晶体生长炉与全自动控制系统,掌握了国际领先的大直径单晶硅棒生长技术与硅片产业化经验。
 
2015 年 12 月,易芯半导体自主研发的 12 英寸芯片级单晶硅片通过了国家有色金属及电子材料分析测试中心的检测,送样产品核心参数均通过测试,相关指标达到国际标准。
 
2017 年 7 月,易芯半导体一期项目实现八条 12 英寸单晶硅棒生产线的批量生产,年生产 12 英寸单晶硅棒 170 吨(成品)。
 
尽管易芯半导体掌握了大直径单晶硅棒生长技术,但目前还没有形成切磨抛的能力,公司正在积极筹措资金以布局切磨抛产能。
 
9、西安奕斯伟硅片技术有限公司
2017 年 12 月 9 日,奕斯伟硅产业基地项目签约。西安高新区与北京芯动能公司、北京奕斯伟公司三方共同签署了硅产业基地项目投资合作意向书。根据意向书,该项目总投资 110 亿元,预期达产后将形成月产 50 万片 12 英寸硅片的产能;最终目标成为月产能 100 万片。
 
2018 年 2 月 9 日,项目承担单位西安奕斯伟硅片技术有限公司成立,是西安奕斯伟材料技术有限公司全资子公司,而西安奕斯伟材料技术有限公司是北京奕斯伟科技有限公司的全资子公司。
 
2018 年 7 月 7 日参加“西安 2018 年第二批扩大有效投资重大项目集中开工仪式”。
 
2019 年 1 月 17 日,1 号生产厂房、2 号拉晶厂房顺利封顶;7 月 15 日项目用 110KV 变电站投运,设备将开始联机调试,标志着项目进入投产倒计时。
 
10、四川经略长丰半导体有限公司
2018 年 3 月 22 日,四川经略长丰半导体有限公司 8/12 英寸硅片项目开工。项目分两期建设,其中一期工程计划于一年内完工。达产后,形成月产 10 万片 8 英寸和月产 40 万片 12 英寸硅片的生产能力。
 
根据《四川经略长丰半导体有限公司集成电路用 8/12 英寸硅片产品项目环境影响评价第一次公示》信息表明,项目总投资 50 亿元,投资方是深圳经略长丰投资管理有限公司。
 
2019 年 3 月开始讨论项目用 110KV 变电站方案设计及预算。
 
11、广西启世半导体有限公司
2018 年 9 月 12 日,广西启世半导体有限公司年产 1440 万片集成电路用 12 英寸大硅片项目(中马大硅片项目)落户广西钦州。
 
作为第十五届中国—东盟博览会国内经济合作项目集中签约项目之一,中马大硅片项目落户于中马钦州产业园,总投资 30 亿美元,主要建设 12 英寸大硅片生产线。项目计划分三期建设,其中一期总投资 10 亿美元,建设四条生产线,年产 480 万片 12 英寸大硅片。
 
据查,广西启世半导体有限公司成立于 2018 年 5 月 29 日,董事长是金成默,总经理是 CHO KWAN SIK。投资方是深圳启世投资有限公司,成立于 2018 年 8 月 21 日。
 
注:此项目存在非常大的不确定性。
 
12、中晶(嘉兴)半导体有限公司
2019 年 1 月 19 日中晶大硅片项目签约嘉兴科技城,项目总投资 110 亿元,年产 1200 万片 12 英寸大硅片。项目分两期建设,其中一期投资 60 亿元,年产 480 万片 12 英寸大硅片。
 
据悉 ,2019 年 2 月 28 日该项目签订土地出让合同,4 月 12 日取得建筑工程施工许可证并进场施工。
 
截至 2019 年 6 月底,中晶大硅片项目已建设投资 4.3 亿元,其中设备投入 3.39 亿元。
 
各厂房桩基工程已经完成,预计 2019 年 12 月一期土建基本完成,2020 年开始进行厂房装修,2020 年 7 月,项目一期厂房竣工投入使用,全部工程预计在 2024 年 6 月完成。
 
2019 年 7 月入列 2019 年度浙江省第一批特别重大产业项目。
 
13、江苏睿芯晶半导体科技有限公司投资
2019 年 3 月项目签约,计划首期总投资约 3 亿美金,建设 12 英寸半导体硅片月产能 10 万片。
 
目前没有任何实质进展。
 
14、天芯硅片制造(湖北)有限公司
天芯硅片制造(湖北)有限公司成立于 2019 年 1 月。
 
据悉,厂房招标工程于 2019 年 4 月完成。
 
15、中芯环球科技有限公司
中芯环球于 2019 年 7 月成立,目前正在与多地洽谈硅片项目。
 
该公司和泉芯集成电路制造(济南)有限公司有密切关系。中芯环球的总经理钟雄鹰是泉芯集成的董事长,中芯环球的副总经理曹山是泉芯集成的总经理。
 
16、济南大硅片项目
山东省会济南市念念不忘大硅片项目。从 2018 年至 2019 年多次组织大硅片项目认证会。

 

 
中国电子级多晶硅布局
电子级多晶硅是集成电路产业上游核心原材料,我国政府雄心勃勃的发展规划以及各大企业对大硅片项目的投资,将驱动电子级硅材料向前发展。2016 年国家强基工程还支持了洛阳中硅高科技有限公司和江苏鑫华半导体材料有限公司发展电子级多晶硅,引导行业提升整体竞争能力。
 
目前国内从事电子级多晶硅材料研发生产的企业主要有青海黄河上游电子级多晶水电开发有限公司新能源公司(黄河新能源)、云南冶金云芯硅材股份有限公司(云冶芯材)、江苏鑫华半导体材料科技有限公司(鑫华半导体)、洛阳中硅高新科技有限公司(洛阳中硅)、宜昌南玻硅材料有限公司(宜昌南玻),而新疆大全新能源股份有限公司(新疆大全)、新特能源股份有限公司(新特能源)等也在布局电子级多晶硅生产线。
 
目前黄河新能源、鑫华半导体、云冶芯材、洛阳中硅、宜昌南玻五家企业都发布了电子级多晶硅产品。目前国内尚未量产 12 英寸集成电路硅片,12 英寸硅片用电子级多晶硅完全由国外垄断,8 英寸及以下半导体硅片用电子级多晶硅已实现国产化。
 
 
1、青海黄河上游电子级多晶水电开发有限公司新能源公司
青海黄河上游电子级多晶水电开发有限公司新能源公司(黄河新能源)成立于 2006 年,同年开始多晶硅的研发工作,于 2010 年投产,形成年产 2500 吨高纯电子级多晶硅产能。自 2014 年开始,连续 4 年销售量超过百吨,国内市场占有率达到 11%。
 
黄河水电多晶硅采用改良西门子法,实现完全闭路循环,节能低耗、安全环保,其氧含量<0.02ppma,碳含量<0.02ppma,受主杂质<0.03ppba,施主杂质<0.05ppba,基体总金属杂质<2ppbw。
 
黄河新能源经过近十年的努力,建成了国内第一条电子级多晶硅生产线,生产出符合集成电路应用的高纯电子级多晶硅,并率先在国内建立了一套完整的满足 SEMI 标准的电子级多晶硅产品检测标准、指标体系和检测质量控制流程,拥有目前国内唯一按照国际半导体材料与设备协会(SEMI)标准配置的多晶硅检测实验室。
 
黄河公司在不断推动产品升级的同时,还利用国内首套完整的冷氢化技术,实现了产线中副产物的循环利用,冷氢化四氯化硅转化率达到国内最高水平,还原炉回收尾气经处理后达到电子级多晶硅生产要求,实现完全闭路循环和环保降耗。
 
据悉,黄河新能源电子级多晶硅通过了北京有研半导体材料有限公司、西安华晶电子技术股份有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司产品验证,一致认为产品质量可以满足集成电路需求。
 
2013 年度和 2014 年度均通过浙江金瑞泓科技股份有限公司的关键供方考察审核,获得该公司供应商资格,于 2014 年 6 月与浙江金瑞泓科技股份有限公司签订《电子级多晶硅产品长期合作框架协议》,并共同参与 6 英寸、8 英寸、12 英寸硅片的论证实验。
 
2、江苏鑫华半导体材料科技有限公司
2015 年 12 月 11 日,江苏鑫华半导体材料科技有限公司成立,由国家集成电路产业投资基金联手保利协鑫共同投资成立。
 
公司采用改良西门子法循环利用氯硅烷工艺生产的多晶硅产品,公司第一条生产线的产能为 5000 吨,未来规划再上一条 5000 吨生产线。
 
鑫华半导体依托协鑫 11 年的多晶硅制造成熟经验,联合海内外千余人研发团队,历经 317 次电子级多晶硅生产试验,对 629 项技术、设备优化改进,通过对原料纯化系统的重新设计,实现了原料端彻底祛除和控制杂质。团队通过选用半导体级材料和制造全面洁净设备,系统性解决了杂质释放问题,并且全球首创自动化无接触硅料处理系统。
 
2017 年 11 月 8 日,公司正式发布电子级多晶硅产品,目前产品指标经第三方测试远超国标电子一级品指标,试拉晶体效果完美。公司称产品质量满足 40nm 及以下极大规模集成电路用 12 英寸硅片制造需求。
 
2018 年 5 月,公司电子级多晶硅出口韩国。2018 年 11 月公司所有设备全面投用,电子级多晶硅质量全面比肩国际先进水平,标志着我国电子级多晶硅成套技术和关键设备均已实现国产化。
 
3、洛阳中硅高科技有限公司
公司成立于 2003 年 3 月,总部位于洛阳,现有两个生产基地(洛阳洛龙、偃师)和一个国家级重点工程实验室。主要经营高纯多晶硅、气相白炭黑、高纯四氯化硅、高纯硅化合物产品、无水氯化氢等产品,并提供硅化合物技术服务。截止目前公司多晶硅年产能为 20000 万吨。
 
中硅高科是拥有自主知识产权的多晶硅生产企业,工艺技术具有能量综合利用、物料闭路循环两大特点,符合大规模、低单耗、高品质、清洁生产的发展方向。使用该工艺生产的多晶硅质量稳定可控,可根据客户要求提供不同等级、不同形态的产品。
 
中硅高科正以用于电子芯片生产的区熔级多晶硅为突破口,打造国内区熔级多晶硅生产线,向价值链更高端跃升。
 
4、云南冶金云芯硅材股份有限公司
云南冶金云芯硅材股份有限公司的前身是成立于 2000 年的昆明冶研新材料股份有限公司(昆明冶研),系 1953 年成立的昆明冶金研究院分离改制而来的一家高新技术公司,2012 年 7 月 26 日,公司将注册地由昆明搬迁至曲靖,2017 年 6 月更名。
 
实际上,早在 2006 年,云南冶金集团将电子级多晶硅产业化项目作为战略性新兴板块置入云冶新材(原昆明冶研)具体实施。
 
2013 年 6 月总投资 36 亿元的以电子级多晶硅为目标的 3000 吨 / 年多晶硅产业化项目建成投产,部分产品达电子级标准。经过试用,可满足“半导体器件使用要求”,2014 年实现电子级多晶硅销售。2015 年开始进行冷氢化技改,2016 年 9 月达产,产能达 6000 吨 / 年。
 
2015 年 10 月成功实现质量满足 GB/T 12963-2014《电子级多晶硅》电子 1 级产品的批量稳定生产,至今已经产出电子级多晶硅 1000 多吨。
 
5、宜昌南玻硅材料有限公司
宜昌南玻硅材料有限公司于 2006 年 8 月成立,隶属于中国南玻集团太阳能事业部,是一家专业从事高纯多晶硅、高效硅片、纳米白炭黑、石英坩埚生产的大型制造企业。
 
公司目前已经形成了年产 12000 吨高纯多晶硅(其中电子级多晶硅 2500 吨 / 年、太阳能级多晶硅 9500 吨 / 年)、2.2GW 高效硅片以及综合利用多晶硅尾气残液年产 3400 吨纳米白炭黑的生产能力。
 
宜昌南玻多晶硅采用改良西门子法,增加还原尾气干法回收系统、四氯化硅氢化工艺,实现了全闭路循环。该方法降低了单位产品的能耗,采用四氯化硅氢化和尾气干法回收工艺,降低了原辅材料的消耗,保护了资源。
 
公司多晶硅质量居行业先进水平,并积极储备电子级多晶硅生产工艺技术。据悉,公司目前电子级多晶硅产量在 800 到 850 吨,内在质量达到国标电子三级以上,全部用于光伏产品,少量优质产品经深度腐蚀后送下游半导体厂家试用。
 
目前电子级多晶硅还没有形成量产。为具备批量供货能力,公司正在筹建半导体级专用产线,视市场情况推进产线升级。
 
6、新疆大全新能源股份有限公司
新疆大全新能源股份有限公司专注高纯度多晶硅专业生产。公司从国外引进世界领先的设备和生产工艺,通过消化吸收、技术创新实现全自动、全循环的闭环式运行制造高纯多晶硅。生产过程物料利用率高、能耗低、绿色环保,各项技术指标达到国际先进水平。
 
公司生产的高纯度多晶硅主要用于太阳能光伏,年产能为 1.8 万吨。
 
为抢抓国家关键核心产业布局,公司积极储备电子级多晶硅技术。2017 年 10 月 20 日,公司年产 13000 吨多晶硅项目 B 阶段开工建设,包括建设年产 2500 吨的电子级多晶硅产能。整体工程已经于 2018 年 12 月开始投产,相关电子级多晶硅情况还不明朗。
 
7、新特能源股份有限公司
新特能源股份有限公司是特变电工控股子公司,是专业从事光伏新能源产品研制及技术研发的高新技术企业,在多晶硅产品制造领域,公司具备 3 万吨生产能力。
 
新特能源研发出大规模电子级多晶硅生产的系列化配套工艺技术体系,从而实现电子级多晶硅国产化。
 
为了把握行业发展机遇,2018 年公司开始实施年产 3.6 万吨高纯多晶硅产业升级项目的建设,项目生产的多晶硅产品品质将全部达到电子级二级及以上,服务于高品质的单、多晶硅片用料市场,于 2019 年上半年项目建成投产,其中包括年产 1500 吨的电子级多晶硅生产线。

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电子产业图谱

“芯思想semi-news”微信公众号主笔。非211非985非半导体专业非电子专业毕业,混迹半导体产业圈20余载,熟悉产业链各环节情况,创办过半导体专业网站,参与中国第一家IC设计专业孵化器的运营,担任《全球半导体晶圆制造业版图》一书主编,现供职于北京时代民芯科技有限公司发展计划部。邮箱:zhao_vincent@126.com;微信号:门中马/zhaoyuanchuang