与非网 12 月 6 日讯,山东有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目正在加快建设,目前,3 个主体车间即将封顶,项目预计明年 6 月份投产。该项目属于德州东部城区创新组团的龙头项目,更重要的是,目前这个项目规模也是北方最大的半导体材料基地。

 

 

据悉,该项目是由有研科技集团、日本 RST 株式会社控股的有研半导体材料有限公司出资,山东有研半导体材料有限公司建设。

 

有研科技集团是国资委管理的 96 家央企之一和国内有色金属行业规模最大的综合性研究开发机构,在国内唯一掌握 18 英寸硅单晶技术、12 英寸硅片技术,率先实现 8 英寸硅片商业化,12—18 英寸硅单晶产品可满足全球最先进的半导体设备应用要求。

 

了解到,本次项目于今年 3 月份举行开工仪式,同时也是山东 2019 年省级重点项目。总投资约 80 亿元,分两期建设,一期新建年产 180 万片的 8 英寸硅片生产线,二期规划年产 360 万片 12 英寸硅片。

 

项目一期占地 326 亩,建筑面积 22 万平方米,建设直拉车间厂房、硅片厂房、动力中心等,搬迁北京现有的 6 英寸、8 英寸硅晶圆、8 英寸单晶硅生产线并扩大产能,形成年产 8 英寸硅片 276 万片、6 英寸硅片 180 万片、12—18 英寸大直径硅单晶 300 吨的生产能力。二期项目建设 12 英寸硅晶圆中试线科研成果产业化基地,年产 360 万片 12 英寸硅片。