与非网 10 月 16 日讯 光刻机厂商 ASML 因“华为事件”在国内闻名,高端极紫外光刻机(EUV)目前全球范围内,仅有 ASML 能够生产,这种设备主要用于生产 7 纳米及更先进制程的芯片。

 

 

光刻机是半导体产业中最重要的设备,技术先进的还是由荷兰 ASML 公司生产,我国也有在研发生产光刻机,但技术水平还比较落后,无法满足现代芯片工艺要求。

 

10 月 14 日,ASML 公布了其第三季度财报,财报显示,ASML 当季总共销售 60 部光刻系统,净销售额为 40 亿欧元,净收入 11 亿欧元,毛利率达到了 47.5%。

 

ASML 表示,本季度来自高端 EUV 光刻机的收入占比达到了总收入的 66%,也是其 EUV 首次超过 DUV(深紫外线光刻机)收入,说明高端芯片已经开始进入量产期。

 

作为对比,2020 中国企业 500 强中,482 家非银行企业的净资产利润率为 8.74%,提高了 0.40 个百分点;银行净资产利润率为 11.25%。中国五百强利润率最高前三名分别为,贵州茅台、网易和阿里巴巴,分别为 46.38%、35.85%、29.32%。

 

华为 2020 年上半年销售收入为 4540 亿元,净利润率 9.2%。ASML 体量虽然不如华为,但是由于其垄断地位,使其在市场拥有不小的议价权。

 

ASML 总裁兼 CEO 韦尼克(Peter Wennink)表示,尽管宏观环境存在不确定性,包括新冠疫情的经济影响和地缘政治等因素,但市场前景向好,终端市场驱动因素的发展(例如 5G、AI 和高性能运算)将推动对于高阶逻辑运算和内存芯片的需求,这些先进制程的应用,都需要使用到先进光刻机。

 

台积电、三星都是 ASML 的大客户,尤其是台积电,目前累计采购的 EUV 设备已超过 35 台,超过其他所有芯片制造商总和,由于台积电今年专注 5 纳米量产,其对 EUV 设备的需求将持续。

 

对于中国市场,ASML CFO Roger Dassen 在财报会议中表示,去年中国客户为 ASML 创造了约 8 亿欧元的销售额,今年将会更多,预计超过 10 亿欧元。

 

根据当前法规,ASML 无需获得美国出口许可,便可以继续从荷兰向中国市场出货 DUV 光刻系统;但是对于直接从美国发货系统或零件到受法规影响的客户,ASML 仍然需要获得许可证。

 

ASML 今年客户以逻辑工艺领域为主,中芯国际则是 ASML 的主要逻辑工艺领域客户。“我们不会对特定的客户情况进行推测或评论,但总的来说,我们会在法律和法规要求的范围内尽最大的能力继续为客户提供服务”,Roger Dassen 表示。

 

在 DUV 光刻业务领域,ASML 表示,在本季度对第一台 TWINSCAN NXT:2050i 进行了质量认证,并于第四季度初发货。NXT:2050i 基于 NXT 平台的新版本,其中包括掩模版工作台,晶圆工作台,投影物镜和曝光激光器的技术改进。

 

在 EUV 光刻业务领域,ASML 公布了 TWINSCAN NXE:3600D 的最终规格,30mJ/cm2 的曝光速度达到每小时曝光 160 片晶圆,提高了 18%的生产率,并改进机器匹配套准精度至 1.1 纳米。同时,ASML 计划于 2021 年的中期开始发货。

 

总之,我国光刻机与世界先进水平的差距,主要是制造工艺的差距。虽然,我国已经一些光刻技术,但是在关键零部件、材料等方面仍然无法满足量产的需求。这也印证了一句话“自己有才是真的,只有你突破了技术,就没有人能卡住你的脖子”。也代表了中国企业在半导体行业发展的决心。