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中国首条12英寸先进传感器研发中试线成功通线

2021/07/01
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与非网7月1日讯 由国家智能传感器创新中心(简称“创新中心”)建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。该中试线以国产设备为主,具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力,同时为国产装备提供验证平台,加速先进传感器产业链国产化,实现自主可控。

面向新兴技术发展和市场应用需求,创新中心将在12英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件和新集成等关键共性技术,重点突破光学、声学、力学、生物等先进传感器的核心工艺,并推动相关产品及应用的产业化。

12英寸中试线位于上海智能传感器产业园内,产业园以智能传感器为核心,以创新平台和龙头企业为支撑,伴有精准的政策助力,发展传感器特色工艺,积极培育和引进领先的智能传感器产业链领军企业,促进产业集聚和协同发展,力争将上海嘉定打造成国内传感器领域产业高地。

国家智能传感器创新中心致力于先进传感器技术创新,以关键共性技术的研发和中试为目标,联合中国传感器与物联网产业联盟1000+ 家产业链各领域的代表企业开展共性技术研发,形成“产、学、研、用”协同创新机制,加速我国先进传感器及其相关应用的核心技术发展,推动智能传感、物联网、人工智能的生态体系建设。

资料显示,国家智能传感器创新中心,在工业和信息化部的指导下,于2018年6月成立,致力于先进传感器技术创新,以关键共性技术的研发和中试为目标,联合传感器上下游及产业链龙头企业开展共性技术研发,专注传感器设计集成技术、先进制造及封测工艺,布局传感器新材料、新工艺、新器件和物联网应用方案等领域,形成“产 学 研 用”协同创新机制,打造世界级智能传感器创新中心。依托中国传感器与物联网产业联盟已有近1000家产业链各领域的代表企业,发挥产学研资源优势,加速我国物联网核心技术的发展,推动智能传感、大数据、人工智能的生态体系建设。

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