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走进光刻机企业ASML,了解一下光刻机制造难度有多大?
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2002年SMEE成立,是中国政府为了填补光刻机空白而立项。上海微电子装备公司总经理贺荣明去德国考察时,有工程师告诉他:“给你们全套图纸,也做不出来。”贺荣明几年后理解了这句话。