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薄膜电路

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薄膜电路是将整个电路的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件以及它们之间的互连引线,全部用厚度在1微米以下的金属、半导体、金属氧化物、多种金属混合相、合金或绝缘介质薄膜,并通过真空蒸发、溅射和电镀等工艺制成的集成电路。

薄膜电路是将整个电路的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件以及它们之间的互连引线,全部用厚度在1微米以下的金属、半导体、金属氧化物、多种金属混合相、合金或绝缘介质薄膜,并通过真空蒸发、溅射和电镀等工艺制成的集成电路。收起

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  • 薄膜电路
    薄膜电路是一种集成电路的形式,它利用在非导电基板表面上沉积的极薄金属或合金薄膜,制造出电路元件,并通过将这些元件连结起来形成各种电路系统。薄膜电路具有占用面积小、体积轻、可靠性高以及易于进行大规模集成等优点。