伯克列校内MEMS讲座用资料

caroline11

经典伯克列校内MEMS讲座用资料，这份资料是我见过的很经典的资料之一。
本资料是MEMS基础讲座用的资料，很多MEMS传感器都是靠MEMS器件的容量变化来工作的，这份资料里讲解了多种MEMS的容量计算方法和工作原理，并且分析的很具体。也总结出了很多计算公式。