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多重曝光中的颜色优化注意事项

2018/09/06
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多重曝光中的颜色优化注意事项

1.70 MB

在先进工艺节点中，要实现最佳性能和良率，需要超越设计规则的最低要求来优化版图。任何多重曝光版图都有多种能通过多重曝光设计规则检查 (DRC) 的着色配置。但是，选择最佳着色方案可以提高制造良率和设计性能裕量。了解 Calibre Multi-Patterning 自动着色解决方案及其内置的分析功能如何大幅简化选择最佳着色方案的工作，无论版图如何复杂。

公司介绍

德国西门子股份公司（SIEMENS AG）创立于1847年，是全球电子电气工程领域的领先企业。西门子自1872年进入中国，140余年来以创新的技术、卓越的解决方案和产品坚持不懈地对中国的发展提供全面支持，并以出众的品质和令人信赖的可靠性、领先的技术成就、不懈的创新追求，确立了在中国市场的领先地位。

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