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无线氢气检测仪:半导体行业氢气泄漏监测的无线解决方案

04/24 10:01
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——面向半导体行业的无线监测方案

半导体制造、新材料研发及电子特气储存等环节,氢气(H₂)作为外延、CVD、还原炉等工艺的常用气体,同时具备易燃易爆与缺氧风险。传统有线气体检测仪布线复杂、改造成本高,且半导体厂区设备密集、空间受限。深国安电子推出的 SGA-501C-H2-RSJ 无线单一氢气气体泄漏报警器,采用无线传输锂电池供电设计,为半导体行业提供一种无需布线、即装即用的氢气监测方式。

一、产品定位与核心价值

SGA-501C-H2-RSJ 是一款固定式、无线传输、锂电池供电的单一氢气检测仪,属于SGA-501C系列无线气体泄漏报警器。它适用于无法布线的老旧车间改造、临时作业区、移动式设备配套以及洁净室内部等对安装便利性要求高的场景。设备通过GPRS/4G等无线方式将氢气浓度数据上传至深国安物联网云平台,用户可通过手机APP或电脑端远程查看实时数据、接收报警信息。

型号说明:SGA-501C-H2-RSJ

SGA-501C:无线单一气体检测仪(可扩展为多合一,本型号固定检测H₂)

H2:检测气体为氢气

RSJ:表示“锂电池+无线”版本(内置可充电锂电池,支持无线传输)

二、产品特点

1. 无线传输,无需布线

默认采用GPRS/4G全网通无线通信,也可选配WIFI、ZIGBEE、LORA等。数据直接上传至云平台,免去现场布设信号电缆的工程成本,尤其适合半导体厂区内的洁净室、气柜间、架空管道等难布线区域。

2. 锂电池供电,灵活部署

内置可充电锂电池,支持长时间在线运行。在外部断电情况下仍可持续监测一段时间,提高安全性。设备可独立工作,不受现场220V电源位置限制。

3. 检测精准,响应迅速

针对氢气检测,提供两种传感器选型:

催化燃烧式:量程0-100%LEL,分辨率0.1%LEL,适用于氢气可燃泄漏监测;

电化学式:量程0-1000ppm,分辨率1ppm,适用于微量氢气泄漏(如H₂/O₂混合气体泄漏)。

全量程温湿度补偿,减少环境波动影响,响应时间在3~20秒之间。

4. 本地显示与声光报警

配备2.4英寸液晶彩屏,实时显示氢气浓度、单位、电池电量、信号强度。可选配一体式声光报警器,浓度超标时发出85dB以上报警音,同时屏幕报警指示灯闪烁。

5. 智能维护提醒

设备可自动提示传感器校准到期、寿命到期、故障等信息,方便运维人员及时处理,避免因设备失效导致监测空白。

6. 数据存储与追溯

检测仪本地可存储10万条以上数据,云平台支持无限存储。可生成历史曲线、报警记录,支持按时间截取数据并导出,满足半导体企业GMP、EHS审计要求。

7. 防爆与防护等级

防爆等级Exd IIC T6 Gb,适用于含有氢气、乙炔、二硫化碳等IIC类爆炸性气体的危险区域。外壳防护等级IP67,可应对洁净室日常清洁冲洗及粉尘环境。

三、详细技术参数(SGA-501C-H2-RSJ)

项目 参数
检测气体 氢气(H₂)
传感器原理 催化燃烧(量程0-100%LEL)或 电化学(量程0-1000ppm),二选一
检测量程 0-100%LEL(催化燃烧);0-1000ppm(电化学)
分辨率 0.1%LEL / 1ppm
检测单位 支持 %LEL、ppm、%VOL、mg/m³ 切换
精确度 ≤ ±3%FS
重复性 ≤ ±1%FS
响应时间 T90 ≤ 20秒
工作电压 内置锂电池,外部供电DC 24V(12-30V)
无线通信 默认GPRS/4G(全网通),可选WIFI、ZIGBEE、LORA等
有线通信 RS485(选配)
显示方式 2.4英寸液晶彩屏
报警方式 本地声光报警(选配)+ 平台报警(短信/微信/邮件/语音)
继电器输出 2组常开无源触点,容量1A/24VDC,可联动风机或切断阀
数据存储 本地10万条,云平台无限存储
外壳材质 铝合金铸体
防爆等级 Exd IIC T6 Gb
防爆证号 CE20.1135X
防护等级 IP67
外形尺寸 无报警器:140×230×100mm;带报警器:200×230×100mm
重量 无报警器约2.0kg,带报警器约2.2kg
工作温度 -20℃ ~ +50℃(可定制高温套件)
工作湿度 10~95%RH(无凝露)
设计寿命 催化燃烧2-3年,电化学2-3年
计量认证 可选(第三方计量院,费用自理)

四、半导体行业典型应用场景

氢气站/氢气气瓶间

监测氢气储存区及管道接口微量泄漏,防止爆炸性气体积聚。

CVD/PVD/外延设备附近

工艺过程中氢气作为载气或反应气,设备密封件老化可能导致泄漏。检测仪可安装于设备腔体周围排风口位置。

尾气处理系统(Scrubber)入口

半导体尾气中常含未反应的氢气,监测入口浓度可预警处理系统效率下降或泄漏。

氢气混合配气柜

在气体混合柜内部或附近部署无线检测仪,实时监控混气过程氢气浓度。

洁净室回风夹层

氢气比空气轻,泄漏后会向上聚集。在吊顶或回风夹层安装检测仪可早期发现泄漏。

移动式维修/检测设备配套

对于临时检修的设备或区域,可使用锂电池供电的无线检测仪临时部署,任务结束后回收。

氢燃料测试实验室

半导体研发机构中的氢燃料电池测试台,需连续监测氢气浓度。

五、安装与使用建议

安装高度:氢气比空气轻,检测仪应安装在泄漏源上方0.5~1米处或天花板下方。若用于缺氧监测(氢气置换氧气),则安装在人员呼吸带(1.5米左右)。

传感器选型建议

关注爆炸风险 → 选用催化燃烧式(0-100%LEL)

关注毒性/微量泄漏 → 选用电化学式(0-1000ppm)

可同时配置两种量程的检测仪实现双重保护。

联网设置:设备出厂已预置物联网卡,通电后自动连接深国安云平台,用户只需在手机APP或电脑端注册账号并绑定设备ID即可。

维护周期:每6个月进行一次零点校准和量程标定,传感器达到寿命前设备会发出提醒。

六、总结

SGA-501C-H2-RSJ 无线氢气气体泄漏报警器为半导体行业提供了一种灵活、可靠的氢气监测方案。无线设计解决了洁净室布线难的问题,锂电池供电提升了部署自由度,云平台则支持远程集中监控和多级报警。对于老旧工厂改造、临时作业或移动式监测需求,该产品可降低工程量并缩短实施周期。

深圳市深国安电子科技有限公司

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