化合物芯片的外延材料—MO源

随着源杰科技的股价超过茅台，磷化铟材料的激光器进入大众视野，很多人不知道它为啥会这么猛呢，又是用什么做出来的呢，今天我们就聊一聊做化合物激光器的一个原材料--Mo源。MO源（Metal Organic Source）。

一、MOCVD设备

说到MO源，就必须提MOCVD了，Mo源也是MOCVD设备使用的工艺源材料。

MOCVD，全称为金属有机化学气相沉积（Metal-Organic Chemical Vapor Deposition），是一种用于在基底上生长单晶薄膜的技术。这项技术自1968年由Rockwell公司的Manacevit提出后，经过50多年的发展，已成为半导体外延生长领域最广泛使用的外延技术之一。感兴趣的可以查看以往的文章：

MOCVD的基本原理是：当氢气携带金属有机化合物蒸气和非金属氢化物进入到反应室内加热的衬底上方时，会发生一系列化学反应，在衬底上生成外延层。与传统的液相外延、气相外延和分子束外延等技术相比，MOCVD具有材料质量高、均匀性好、掺杂精度高等优点，尤其适合大规模工业化生产。

二、Mo源的常用种类

MO源（Metal Organic Source），即金属有机源，也称为金属有机前驱体（Metal Organic Precursor）或前体（precursor），是MOCVD工艺中最关键的原材料。

三、国内外的主要生产厂家

最早接触过南大光电的MO源，应该是国内最早的了吧，聊一聊南大光电另外广东先导微电子也有MO源业务。

更多行业知识请关注芯片工艺公众号。